花崗岩平台作為精密測量和加工的參考工具，其精度維護直接影響產品品質。以下提供一套系統的維護方案，涵蓋環境控制、日常維護和專業校準，以確保平台長期維持奈米級精度。
1. 環境控制：建造精準防護屏障
溫度和濕度管理
工作環境溫度需穩定在20±1℃。溫度每波動1℃，花崗岩平台就會產生0.5-1μm/m的熱變形。車間內可安裝恆溫系統，防止空調出風口直接吹向平台。
濕度應控制在 40% 至 60% 之間。濕度過高容易導致金屬零件生鏽，而濕度過低則可能導致靜電幹擾測量。
隔振
平台應遠離沖壓機、銑床等振動源。建議與振動設備保持3米以上的距離。
如果振動無法避免，可以在平台底部安裝空氣彈簧減震器，以減少環境振動對平台平整度的影響（可減少 80% 以上的外部振動）。
2. 日常維護：從清潔到防護的精細控制
表面清潔規範
除塵：每天用鹿皮布或不起毛的布沿著同一方向擦拭表面，以防止灰塵顆粒（≥5μm）刮傷平台。頑固污漬可用無水乙醇（純度≥99.7%）輕輕擦拭。切勿使用丙酮等強力溶劑。
除油：如果接觸到油漬，用稀釋的中性清潔劑擦拭，然後用去離子水沖洗並風乾，以防止礦物油滲入平台的微小孔隙。
負載和碰撞保護
平台的承載能力應控制在額定負載的 70% 以內（例如，對於 1000kg 的平台，建議負載 ≤700kg），以避免因局部過載而造成永久變形。
嚴禁敲擊平台上的工件。操作工具時，請戴上軟手套，防止尖銳物體刮傷表面（深度超過20μm的刮痕會影響反射光路的測量）。
3. 專業校準：科學保持精準度的核心
校準週期設定
常規使用場景：每季校準一次，並使用雷射干涉儀檢測平面度（精度為±0.5μm/m）。
高頻使用或惡劣環境：每月校準，重點監控溫度敏感區域（例如靠近熱源的平台邊緣）。
校準後處理
如果發現平面度偏差（例如 > ±1μm/m），則必須由專業技術人員使用 W1.5 微粉進行研磨修復。嚴禁自行使用砂紙研磨。
校準後，應記錄並存檔數據，並建立平台精度衰減曲線，以便提前預測維護需求。
4. 儲存和運輸：避免隱性精度損失
長期儲存的關鍵點
存放時，應使用防潮防塵罩蓋好。底部應由三點支撐（支撐點位於平台長度的 2/9 處），以防止重力造成的彎曲變形（1 公尺長的平台長期單點支撐可能會下垂 0.3μm）。
定期（每月）調整平台支撐點的位置，以避免長期局部壓力。
運輸保護計劃
短程運輸：用減震泡棉包裹，固定在剛性框架內，並將加速度保持在 2g 以內。
長途運輸：需真空包裝並充入乾燥氮氣。到貨後，應靜置24小時待溫度達到平衡後再拆封，以防止冷凝水影響精度。
5. 故障預測：早期問題辨識技術
目視檢查：定期使用 40 倍放大鏡觀察表面。如果發現連續刮痕或光澤度顯著下降，則可能表示精度下降。
聲音偵測：輕輕敲擊平台。如果聲音變得沙啞（正常情況下應該是清晰的聲音），則內部可能存在微裂紋。請立即停止使用進行檢測。
透過這套維護系統，ZHHIMG®花崗岩平台可維持±1μm/m的平整度長達10年，是未妥善維護平台精度壽命的三倍以上。實務證明，某半導體工廠採用此方案後，平台校準頻率降低了50%，每年節省維護成本超過15萬元。
發佈時間：2025年6月18日