高精度花崗岩機座能否提升晶圓開槽機的性能？

在半導體製造領域，晶圓開槽機在晶圓上創建精確溝槽方面發揮著至關重要的作用。這些機器的性能會受到顯著影響。
這取決於工具機底座的選擇。高精度花崗岩工具機底座，例如 ZHHIMG® 提供的底座，在這方面已成為顛覆性的產品。
精確開槽的穩定性
在晶圓開槽過程中，穩定性至關重要。花崗岩密度高達約 3100 kg/m³，可提供極為穩定的基底。在開槽過程中，切割刀具會對晶圓施加力。像花崗岩這樣的穩定底座能夠確保晶圓夾持機構牢固就位。這種穩定性最大限度地減少了晶圓的任何不必要的移動或振動，從而使切割刀具能夠高精度地開槽。相反，穩定性較差的基底材料可能會導致晶圓發生輕微位移，從而造成開槽過寬、過窄或不直，這會嚴重影響最終半導體裝置的功能。

振動阻尼以實現平穩運行
振動是任何機械加工過程中固有的問題，晶圓開槽也不例外。晶圓開槽機中刀具的高速旋轉會產生振動。如果這些振動無法有效抑制，會導致晶圓邊緣崩邊、槽深不均勻以及表面光潔度差。花崗岩具有優異的減振性能。其天然結構由相互交錯的礦物顆粒組成，如同天然的避震器。當振動發生時，能量會在花崗岩內部耗散，從而減少對晶圓和刀具的衝擊。這使得切割過程更加平穩，刀具壽命更長，並最終獲得更高品質的晶圓開槽。
熱阻確保結果一致
半導體製造工廠通常在受控環境中運行，但仍可能有輕微的溫度波動。花崗岩的熱膨脹係數極低。這意味著，在晶圓開槽過程中，即使溫度發生輕微變化（無論是由於切割刀具產生的熱量還是環境溫度的變化），花崗岩工具機底座也不會發生顯著的膨脹或收縮。在晶圓開槽製程中，精度公差達到微米甚至奈米級，熱致尺寸變化可能會造成災難性的後果。花崗岩的熱穩定性有助於保持工具機部件的對準，從而確保開槽製程長期保持精確性和一致性。
經久耐用，可長期使用
晶圓開槽機在半導體大批量生產中持續運作。機器底座承受著機械應力、摩擦和偶爾的衝擊。花崗岩的高硬度和耐磨性使其成為長期使用的理想材料。它能夠承受日常運行的嚴苛考驗，而不會出現明顯的磨損或變形。這種耐用性減少了因底座問題而導致的頻繁更換或昂貴的維護需求。此外，花崗岩具有化學惰性，這意味著它能夠抵抗半導體製造過程中使用的化學物質的腐蝕，從而進一步延長其使用壽命。
總之，高精度花崗岩機座確實能夠提升晶圓開槽機的性能。花崗岩機座具有穩定性強、減震、耐溫差大、經久耐用等優點，有助於實現更精準、高效、可靠的晶圓開槽作業。在考慮升級或購買晶圓開槽設備時，選擇配備高精度花崗岩機座的機器（例如ZHHIMG®的產品）是明智之舉，能夠顯著提高半導體製造的品質和生產效率。