在半導體晶圓檢測領域，無塵室環境的純度直接關係到產品良率。隨著晶片製造製程精度的不斷提高，對檢測設備承載平台的要求也日益嚴格。花崗岩平台憑藉其零金屬離子釋放和低顆粒污染的特性，已超越傳統的不銹鋼材料，成為晶圓檢測設備的首選解決方案。
花崗岩是一種天然火成岩，主要由石英、長石和雲母等非金屬礦物組成。這項特性使其具有零金屬離子釋放的優點。相較之下，不鏽鋼作為鐵、鉻、鎳等金屬的合金，在無塵室環境中易受水蒸氣和酸性或鹼性氣體的侵蝕，導致表面發生電化學腐蝕，產生Fe²⁺、Cr³⁺等金屬離子沉澱。這些微小離子一旦附著在晶圓表面，就會在後續的光刻、蝕刻等製程中改變半導體材料的電學性質，造成電晶體閾值電壓漂移，甚至導致電路短路。專業機構的檢驗數據顯示，花崗岩平台在模擬無塵室溫濕度環境（23±0.5℃，45%±5% RH）下連續暴露1000小時後，金屬離子的釋放量低於檢測極限（< 0.1ppb）。使用不鏽鋼平台時，金屬離子污染導致的晶圓缺陷率可高達 15% 至 20%。
在顆粒物污染控制方面，花崗岩平台也表現優異。潔淨室對空氣中懸浮微粒的濃度要求極高。例如，在ISO 1級無塵室中，每立方公尺空氣中0.1μm顆粒的數量不得超過10個。即使不銹鋼平台經過拋光處理，由於設備振動和人員操作等外部因素的影響，仍可能產生金屬碎屑或氧化皮剝落，從而乾擾檢測光路或刮傷晶圓表面。花崗岩平台具有緻密的礦物結構（密度≥2.7g/cm³）及高硬度（莫氏硬度6-7），長期使用不易磨損或破損。實測結果表明，與不銹鋼平台相比，花崗岩平台可將檢測設備區域空氣中懸浮顆粒物的濃度降低40%以上，有效滿足無塵室等級標準。
除了潔淨特性外，花崗岩平台的綜合性能也遠勝於不銹鋼。在熱穩定性方面，其熱膨脹係數僅為 (4-8) ×10⁻⁶/℃，不到不銹鋼（約 17×10⁻⁶/℃）的一半，這使其在潔淨室溫度波動時能夠更好地保持檢測設備的定位精度。其高阻尼特性（阻尼比 > 0.05）能夠快速衰減設備的振動，防止偵測探頭晃動。其天然的耐腐蝕性使其即使暴露於光阻溶劑、蝕刻氣體和其他化學物質中也能保持穩定，無需額外的塗層保護。
目前，花崗岩平台已廣泛應用於先進的晶圓製造工廠。數據顯示，採用花崗岩平台後，晶圓表面顆粒檢測的誤判率降低了60%，設備校準週期延長了3倍，整體生產成本降低了25%。隨著半導體產業朝著更高精度方向發展，花崗岩平台憑藉其零金屬離子釋放、低顆粒污染等核心優勢，將繼續為晶圓檢測提供穩定可靠的支撐，成為推動產業發展的重要力量。
發佈時間：2025年5月20日