在半導體製造領域，亞微米精度是確保晶片性能的關鍵，而（ZHHIMG®）花崗岩基板憑藉其材料特性、精密加工和創新設計，已成為實現這種精度的核心保證。
從材料特性來看，ZHHIMG®選用的黑色花崗岩密度約為3100kg/m³，內部結構緻密。這種高密度賦予其卓越的穩定性和剛性。半導體設備運作過程中，馬達旋轉和設備內部機械部件的移動會產生振動。花崗岩底座能夠有效吸收90%以上的振動能量，顯著降低振動對設備精度的影響。同時，其極低的熱膨脹係數使其在環境溫度波動時變形幅度極小，為半導體設備提供穩定的支撐基礎，防止設備零件因溫度變化而發生位移，以避免影響精度。
在加工製造方面，ZHHIMG®工廠採用國際先進的加工設備，擁有四台超大型磨床（每台造價超過50萬美元），可對花崗岩進行高精度磨削。透過五軸聯動數控加工等工藝，工具機底座的平面度可達奈米級，為半導體設備的安裝提供超平整的基準面，確保設備各部件的精確定位。此外，佔地1萬平方公尺的恆溫恆濕車間為加工提供了穩定的環境。車間周圍設有500毫米寬、2000毫米深的防震溝槽，並配備靜音起重機，有效隔離外部振動幹擾，確保工具機底座的加工精度。
此外，ZHHIMG® 還擁有強大的客製化能力。針對半導體設備的特殊需求，可預先加工精確的安裝孔和電纜橋架，確保設備與底座的完美相容。同時，結合德國 Mahr 精密測量儀（精度達 0.5μm）和瑞士 WYLER 電子水平儀等世界一流的計量測試設備，對機器底座進行嚴格的檢驗和校準，確保每個機器底座都能滿足半導體設備對亞微米級精度的嚴格要求。
正是這些優勢的結合，使得 ZHHIMG® 花崗岩底座成為半導體設備實現亞微米精度的可靠選擇，幫助半導體製造朝向更高精度領域邁進。
發佈時間：2025年6月18日