I在半導體製造業，晶圓檢測設備的精度對於確保積體電路的品質至關重要。高精度花崗岩機座，例如 ZHHIMG® 提供的機座，在提升此類設備的性能方面發揮著至關重要的作用。以下是它們如何發揮作用的。
卓越的尺寸穩定性：花崗岩的熱膨脹係數極低，約 (4–8)×10⁻⁶/℃，遠低於許多金屬。在半導體工廠這種嚴格控制的環境中，即使是微小的溫度波動也會導致測量誤差，而花崗岩機器底座卻能保持穩定。這種穩定性確保了晶圓檢測設備中元件定位的精準性，防止任何可能影響檢測結果精度的熱致偏差。
卓越的減振性能：生產車間經常充滿來自各種來源的振動。花崗岩固有的阻尼特性（阻尼比為 0.05–0.1）能夠有效地吸收並消散這些振動。對於晶圓檢測
在這項需要高解析度成像和精確感測器讀數的測量工作中，花崗岩底座提供的減振功能至關重要。它最大限度地減少了可能導致影像模糊或感測器資料失真的干擾，使設備能夠清晰準確地獲取晶圓表面和內部結構的資訊。
中興機械 (ZHHIMG®) 花崗岩底座密度約為 3100 kg/m³，具有卓越的剛性。它們能夠支撐晶圓檢測設備的重型部件而不變形，從而保持光學和機械系統的對準。此外，花崗岩的高硬度（莫氏硬度 6-7）和優異的耐磨性確保底座表面長期保持平整光滑。這種一致性對於長期精度至關重要，因為底座上的任何磨損或變形都可能逐漸降低設備的精確度。
化學惰性：半導體製造過程中會接觸到各種化學物質。花崗岩的化學惰性使其能夠抵抗這些物質的腐蝕。這項特性保護了機器底座的完整性，防止化學物質造成的損壞，從而避免影響檢測設備的穩定性和精確度。
總之，高精度花崗岩機座不僅是晶圓檢測設備的組件，更是實現其高精度要求的關鍵所在。選擇花崗岩機座時，請選擇像 ZHHIMG® 這樣值得信賴的供應商。憑藉多項認證和對品質的執著追求，ZHHIMG® 確保每個花崗岩機座都能滿足先進半導體製造所需的可靠性和性能。
發佈時間：2025年6月3日