在半導體晶圓製造領域，基材的選擇直接影響設備的精度和生產良率。一些不法供應商將大理石冒充天然花崗岩，以次充好。掌握二者的鑑別方法是確保晶圓設備能穩定運作的關鍵。本文將從四個主要方面分析二者的區別，幫助您避免落入劣質替代品的陷阱。
一、密度和硬度：最直觀的物理“身份識別卡”
天然花崗岩：密度為2600-3100kg/m³，莫氏硬度為6-7，敲擊時聲音清脆。 ZHHIMG®選用的黑色花崗岩密度超過3000kg/m³，可承受超過1000kg/m²的均勻荷載。
大理石：密度僅2500-2700公斤/立方米，硬度為3-5，敲擊時聲音沉悶。如果用硬幣輕輕刮擦表面，大理石容易留下痕跡，而花崗岩幾乎不會受損。
二、結構特徵：顯微鏡下的“缺陷”
天然花崗岩：由石英和長石等礦物顆粒緊密交織而成，孔隙率小於0.5%。超音波檢測顯示無明顯內部缺陷。
大理石：其主要成分為碳酸鈣，晶體結構疏鬆，孔隙率為1-3%，易吸水膨脹。在晶圓設備的高溫環境下，大理石基底可能因熱脹冷縮而導致精度偏差超過±5μm。
三、性能測試：實戰中的“魔鏡”
四、認證與可追溯性：可靠的“身份證明”
正式花崗岩底座：提供 ISO 9001 品質認證和 SGS 礦物成分測試報告，並可追溯礦脈來源（如濟南黑、山東黑、印度黑）。
低品質替代品：沒有權威認證，或含糊地描述為“花崗岩材料”，實際上是染色大理石，無法提供詳細的測試數據。
避免陷阱指南：確保高品質基礎的三大技巧
檢查證書：要求供應商提供密度、硬度和熱膨脹係數的測試報告；
測試性能：模擬晶圓設備的運作環境，測試基座在振動和溫度變化下的穩定性；
在選擇品牌時，優先選擇像 ZHHIMG® 這樣通過 ISO 三體系認證的製造商，以避免落入小型工坊的低價陷阱。
發佈時間：2025年6月10日