如何使用及維護晶圓加工產品的花崗岩機座

花崗岩工具機底座因其優異的穩定性、減震性能和熱穩定性，常用於半導體晶圓加工領域。為了充分發揮這種優質材料的優勢並確保其使用壽命，應遵循以下正確使用和維護技巧。

首先，務必保持花崗岩機器底座清潔，避免任何研磨性或腐蝕性物質與其接觸。定期使用沾有溫和清潔劑的柔軟濕布擦拭表面。切勿使用溶劑、酸性物質或強力清潔劑，因為它們會損壞石材表面。

其次，務必確保機器底座安裝正確並調平，以防止任何不必要的移動或振動。這可以透過使用精密水平儀檢查底座的對齊情況，並在必要時調整調平腳來實現。

第三，務必注意機器底座所處的溫度環境。花崗岩的熱膨脹係數低，耐熱衝擊性強，但仍會受到極端溫度變化的影響。應避免將機器底座放置在陽光直射或溫度波動較大的區域。

第四，避免在花崗岩機器底座上施加重物或衝擊力。雖然花崗岩是一種非常堅固的材料，但過大的外力仍然會造成損壞。如果必須在機器上放置重物，請使用保護層均勻分散重量，避免任何集中受力的情況。

最後，務必確保機器底座進行的任何維修或改造都由具備花崗岩加工經驗的合格技術人員完成。不正確的維修或改造底座可能會損害其結構完整性和性能。

總而言之，為了有效使用和維護晶圓加工產品的花崗岩機座，必須保持其清潔、正確安裝並調平，避免將其暴露於極端溫度條件下，避免對其施加重物或衝擊力，並確保任何維修或改造都正確進行。只要保養得當，花崗岩機座就能成為晶圓加工系統中持久可靠的組成部分。