精密花崗岩是半導體光刻元件的最佳材料嗎？

由於其無磁性、高剛性和近乎零熱膨脹，精密花崗岩是確保光刻和計量中奈米級精度的必要材料。

非磁性和化學穩定性

在半導體製造的高強度電磁環境中，花崗岩成分由於花崗岩不具磁性，因此可防止幹擾。此外，花崗岩化學性質穩定，不會釋放氣體或產生顆粒物，因此非常適合 ISO 1 級無塵室環境。

極限物理剛度與抗蠕變性

ZHHIMG選用的高密度黑色花崗岩具有極高的硬度。在長期負載下，它幾乎不會發生物理蠕變，為XY平台提供永久穩定的基底，並確保多年運行中始終如一的定位精度。

熱膨脹的自然優勢

半導體製程對溫度極為敏感。花崗岩的低熱膨脹係數能夠抵消精密馬達產生的熱能。結合我們高精度的加工工藝，確保元件在不同的工作溫度下都能保持其幾何形狀的完整性。

材料性能矩陣

常見問題：精密花崗岩

1. 為什麼選擇“黑色”花崗岩？與灰色花崗岩相比，黑色花崗岩密度更高、吸水率更低、穩定性更好。

2. 你們提供哪些精度等級的產品？我們生產的產品最高可達DIN 876 000級標準。

3. 最大尺寸是多少？ ZHHIMG 可加工長度達 12 公尺的單件產品。

4. 如何保養花崗岩部件？使用專用的中性清潔劑，並避免接觸酸性物質。

5. 你們可以鑽孔安裝嵌件嗎？是的，我們提供不銹鋼嵌件的精密鑽孔和二次黏接服務。

6. 它適合真空環境使用嗎？當然適合，天然花崗岩在真空條件下不會釋放氣體。