直線馬達+花崗岩底座：新一代晶圓傳送系統的核心秘密。

在精密的半導體製造鏈中，晶圓傳送系統如同“晶片生產線的生命線”，其穩定性和精度直接決定著晶片的良率。新一代晶圓傳送系統革命性地將直線馬達與花崗岩底座結合，花崗岩材料的獨特優勢正是實現高性能傳輸的核心所在。

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花崗岩基座：為穩定傳輸打造「堅如磐石的基礎」。
花崗岩歷經數億年的地質作用，具有緻密均勻的內部礦物結晶結構。此天然特性使其成為晶圓傳輸系統的理想基材。在半導體潔淨室的複雜環境中，花崗岩憑藉其超低的熱膨脹係數（僅為5-7 ×10⁻⁶/℃），能夠抵抗設備運作過程中產生的熱量和環境溫度變化的影響，確保基材尺寸的穩定性，避免因熱變形導致的傳輸路徑偏差。其優異的減振性能能夠快速吸收直線馬達啟動、停止和加速過程中產生的機械振動，以及車間內其他設備運作所帶來的外部幹擾，為晶圓傳輸提供「零抖動」的穩定平台。
同時，花崗岩的化學穩定性確保其在半導體車間這種酸鹼試劑易揮發且潔淨度要求極高的環境中不會發生腐蝕或生鏽，從而避免因材料老化或污染物吸附而影響傳輸精度。其光滑緻密的表面特性能夠更有效地減少灰塵附著，滿足潔淨室嚴格的無塵標準，從根本上消除晶圓污染的風險。
線性馬達與花崗岩的「黃金搭檔」效應
直線馬達具有無機械傳動間隙、高加速度和高響應速度等特點，賦予晶圓傳動「快速、精確、穩定」的優勢。花崗岩底座為其提供堅固可靠的支撐平台。二者協同作用，實現了性能的飛躍。當直線馬達驅動晶圓托架在花崗岩底座軌道上運作時，底座強大的剛性和穩定性確保了馬達驅動力的有效傳遞，避免了因底座變形造成的力損失或傳動滯後。
在奈米級精度需求的驅動下，直線馬達能夠實現亞微米級的位移控制。花崗岩底座的高精度加工特性（平面度誤差控制在±1μm以內）與直線馬達的精確控製完美匹配，共同確保晶圓傳輸過程中的定位誤差小於±5μm。無論是高速穿梭於各種製程設備之間，或是精確停放晶圓以進行交接，直線馬達與花崗岩底座的結合都能確保晶圓傳輸過程中的「零偏差、零抖動」。
產業實踐驗證：效率與產量雙重提升
一家全球領先的半導體企業升級了晶圓傳輸系統，採用了直線馬達+花崗岩底座方案，晶圓傳輸效率提高了40%，傳輸過程中碰撞、偏移等故障發生率降低了85%，晶片整體良率提高了6%。這些數據背後，是花崗岩底座提供的傳輸穩定性保障以及直線馬達高速精準的協同效應，顯著降低了晶圓傳輸過程中的損耗和誤差。
從材料特性到精密製造，從性能優勢到實際驗證，直線馬達與花崗岩底座的結合重新定義了晶圓傳輸系統的標準。未來，隨著半導體技術向3nm和2nm製程發展，花崗岩材料憑藉其無可取代的優勢，必將繼續為產業發展注入強勁動力。