隨著半導體製造和先進計量技術以前所未有的規模發展，對超大型精密元件的需求激增。下一代光刻系統和大規模座標測量機（CMM）這需要跨度達 20 公尺的結構基礎，同時也要保持奈米級的平整度。將精密花崗岩床從標準尺寸放大到巨型尺寸，並非僅僅是增加材料用量的問題；這是一項意義深遠的工程挑戰，考驗著材料科學和製造基礎設施的極限。
大規模物理學
當花崗岩底座長度超過10公尺時，重力和內部材料應力將成為強大的挑戰。天然石材雖然穩定性極佳，但本身卻很脆。 20公尺長的底座本身的重量就足以在加工過程中產生微變形。此外，要在如此大的表面積上實現均勻的平整度，就必須消除大型石塊中天然存在的殘餘內應力。如果這些應力無法妥善控制和釋放，底座會隨著時間的推移而緩慢變形，最終無法用於高精度加工。
重型機械加工基礎設施
克服巨型石材的物理限制需要同樣龐大的製造基礎設施。標準的CNC工具機根本無法處理新一代精密工作台的巨大質量和長度。因此，專門的重型工程設計不可或缺。
在ZHHIMG，我們專門設計了工廠，以應對這些極端的製造挑戰。我們的生產車間配備了四台超大型磨床，每台投資超過50萬美元。這些專用設備能夠一次加工尺寸達6000毫米的非金屬精密平台，而我們的整體基礎設施可以處理長度達20公尺、重量達100噸的單件加工。這種重型加工能力在精密製造領域極為罕見，使我們能夠生產出無需裝配接頭、整體剛性最大化的整體式結構。
工業規模的環境控制
加工一塊20公尺長的花崗岩床會產生大量的摩擦熱，即使如此大面積的表面上環境溫度發生微小的波動，也會導致熱膨脹係數的差異。為了確保如此大規模加工的奈米級精度，必須對加工和組裝環境進行完美控制。
中興機械工業株式會社（ZHHIMG）擁有一間面積達10,000平方公尺的恆溫無塵室，專為超精密組裝而設計。此無塵室的地基經過特殊設計，能夠有效吸收外部幹擾，其超硬混凝土樓板厚度不低於1000毫米，並環繞著專用的防震溝槽（寬500毫米，深2000毫米）。配合靜音運轉的橋式起重機，此環境確保了大型零件在絕對的熱穩定性和振動穩定性下進行加工和校準。
任何規模都堅持毫不妥協的品質
生產規模的擴大絕不能以犧牲品質為代價。身為全球唯一同時擁有 ISO 9001、ISO 14001、ISO 45001 和 CE 認證的製造商，ZHHIMG 對 20 公尺長的加工床和標準平板都秉持著同樣的嚴苛標準。我們嚴格選用優質黑色花崗岩（密度約為 3100kg/m³）以確保最佳的熱慣性，並且我們的技藝精湛的工匠使用雷尼紹雷射干涉儀來驗證整個長度的平整度。
ZHHIMG 深受 GE、三星和博世等全球產業領導者的信賴，擁有基礎設施、專業知識和堅定不移的承諾，能夠提供下一代技術所需的龐大基礎架構。
發佈時間：2026年7月23日