在精密製造和科學研究的前沿領域,對超精密運動控制的需求日益增長。作為實現高精度直線運動的關鍵設備,超精密單軸氣浮模組的性能直接影響最終產品的品質和研究成果的準確性。在眾多影響因素中,花崗岩底座的應用賦予其無可比擬的優勢,並成為確保卓越精準度的核心要素。
花崗岩經過數百萬年的地質變遷,其內部結構極為緻密均勻。它主要由石英、長石等礦物組成,這種獨特的材料成分賦予了花崗岩優異的物理性質。當用作單軸氣浮式超精密運動模組的底座時,花崗岩首先展現出極高的穩定性。與常見的金屬材料底座相比,花崗岩底座面對溫度波動、機械振動等外部環境擾動時,具有更強的抗變形能力。在電子晶片製造過程中,晶片光刻的定位精度需要達到奈米級。在生產車間,大型設備運作產生的振動以及環境溫度的微小變化都可能影響光刻設備的運動精度。花崗岩底座的單軸氣浮式超精密運動模組能夠有效衰減外部振動,並將傳遞到運動模組的振動幅度降低80%以上。同時,其極低的熱膨脹係數使得基座尺寸在溫度變化時變化很小,保證了氣浮運動模組在複雜環境下仍能保持穩定的運動精度,為晶片光刻提供了精確的定位基礎,大大提高了晶片製造的良率。

此外,花崗岩具有良好的耐磨性。在超精密單軸氣浮模組頻繁往復運動的過程中,儘管氣浮滑塊與底座之間有氣膜支撐,但長期使用仍不可避免地會產生一定程度的摩擦。花崗岩底座憑藉其高硬度特性,能夠有效抵抗這種摩擦造成的磨損,並延長運動模組的使用壽命。在高校科研實驗室中,用於微粒檢測的實驗設備需要超精密單軸氣浮運動模組長時間穩定運行,以獲得大量精確的實驗數據。花崗岩底座的高耐磨性保證了運動模組在長時間使用後仍能保持初始的高精度水平,為科學研究工作的連續性和準確性提供了可靠的保障,並幫助研究人員深入探索微觀世界的奧秘。
這款採用花崗岩底座的單軸氣浮式超精密運動模組,猶如精密製造和科學研究領域的精準「導航員」。花崗岩底座具有優異的穩定性和耐磨性,為氣浮式運動模組的高精度運動提供了堅實的支撐。在半導體製造、光學儀器製造、高端科學研究等眾多對精度要求極高的領域,它發揮著不可替代的重要作用,推動著產業朝著更高精度、更高品質的方向發展。
發佈時間:2025年4月7日
