花崗岩底座的單軸氣浮式超精密運動模組的應用領域。

半導體製造：在晶片製造過程中，光刻製程需要將電路圖案精確地轉移到晶圓上。單軸氣浮式超精密運動模組的花崗岩底座可為光刻設備中的晶圓台提供高精度定位和穩定支撐。例如，ASML等國際知名光刻機製造商在其高階設備中均採用花崗岩底座氣浮式運動模組，能夠將晶圓定位精度控制在奈米級，從而確保光刻圖案的精度，進而提高晶片的整合度和性能。
精密測量領域：三坐標測量機（CMM）是工業生產中常用的精密測量設備，用於測量工件的尺寸、形狀和位置精度。單軸氣浮式超精密運動模組安裝在花崗岩底座上，可作為CMM的運動平台，實現高精度直線運動，並為測量探頭提供穩定的運動軌跡。例如，海克斯康的高階CMM就採用這種組合，能夠以微米級的測量精度測量大型複雜零件，為汽車、航空航太等產業的零件品質控制提供了強有力的保障。
航空航太領域：航空航太零件的加工和偵測對精度要求極高。例如，飛機引擎葉片的加工需要精確控製刀具的運動軌跡，以確保葉片輪廓的精確度。單軸氣浮式超精密運動模組的花崗岩底座可應用於五軸加工中心等設備，為刀具提供高精度運動控制，確保葉片的加工精度符合設計要求。同時，在航空發動機的組裝過程中，也需要使用高精度測量設備來偵測零件的組裝精度。花崗岩底座的氣浮式運動模組可為測量設備提供穩定的支撐和精確的運動，從而確保組裝品質。
光學檢測領域：在光學元件的製造和測試過程中，需要對光學元件進行高精度定位和測量。例如，在製造高精度光學元件（如反射鏡和透鏡）時，需要使用乾涉儀等設備來偵測其表面形狀精度。單軸氣浮式超精密運動模組的花崗岩底座可作為干涉儀的運動平台，實現亞微米級的定位精度，並為光學元件的檢測提供精確的數據支撐。此外，在雷射加工設備中，也需要使用高精度運動平台來控制雷射光束的掃描軌跡，氣浮式運動模組的花崗岩底座能夠滿足這項要求，從而實現高精度雷射加工。