XYT精密主動隔振運動平台已成為精密製造、研究探索中實現高精度運動控制的核心設備。其中,花崗岩基座的使用為平台性能提升帶來許多關鍵優勢。
穩定性好,隔離外界幹擾
花崗岩基座歷經億萬年地質風雨的錘煉,內部礦物緊密交織,結構緻密均勻。面對複雜的外界振源,如工廠車間大型設備的運作、週邊交通產生的強烈振動,它如同一座堅固的堡壘。花崗岩基座透過複雜的晶體結構,有效阻隔、衰減振動,可將傳遞到XYT精密主動隔振運動平台的振動振幅降低80%以上。以半導體晶片製造車間為例,光刻製程對平台的穩定性要求非常高,即使是微小的振動也可能導致晶片圖形發生偏差。在此場景下,由花崗岩基座支撐的XYT平台保障了光刻設備的精準運行,為晶片製造提供了穩定的基礎,助力提高晶片良率。
優異的熱穩定性確保恆定的精度
溫度波動是影響精密設備精度的一大難題,而花崗岩底座憑藉著極低的熱膨脹係數輕鬆解決了這個問題。其熱膨脹係數一般為5-7×10⁻⁶/℃,溫度變化時尺寸變化很小。在天文學領域,採用花崗岩底座的XYT精密主動隔振運動平台用於望遠鏡鏡頭微調,即使晝夜溫差較大,仍能確保鏡頭的定位精度保持在亞微米級,幫助天文學家捕捉遙遠天體的細微動態。
高硬度和耐磨性,確保長期耐用性
XYT精密主動隔振運動平台在長期運作過程中,與基座會產生一定的摩擦。花崗岩硬度高,莫氏硬度高達6-7,耐磨性極佳。在材料科學實驗室中,常使用的XYT平台,其花崗岩基座能有效抵抗長期摩擦損耗,相較於一般基座,可延長平台維護週期50%以上,降低設備維護成本,保障科研工作的連續性。
XYT精密主動隔振運動平台採用花崗岩底座,在穩定性、熱穩定性和耐用性方面表現優異,使其在眾多精密設備中脫穎而出。
發佈時間:2025年4月11日