材質 – 陶瓷

♦氧化鋁(Al2O3)

中輝智能製造集團(ZHHIMG)生產的精密陶瓷零件採用高純度陶瓷原料,氧化鋁含量分別為92%~97%、99.5%及>99.9%,經CIP冷等靜壓成型、高溫燒結及精密加工,尺寸精度可達±0.001mm,表面光潔度Ra壓成型、高溫燒結及精密加工,尺寸精度可達±0.001mm,表面光潔度Ra度可高達061,使用溫度高達100℃。可依客戶要求客製不同顏色的陶瓷,例如:黑色、白色、米色、深紅色等。本公司生產的精密陶瓷零件具有耐高溫、耐腐蝕、耐磨損和絕緣性能,可在高溫、真空和腐蝕性氣體環境中長期使用。

廣泛應用於各種半導體生產設備:框架(陶瓷支架)、基板(底座)、機械臂/橋架(機械臂)、機械部件和陶瓷氣浮軸承。

氧化鋁

產品名稱 高純度99氧化鋁陶瓷方管/方棒
指數 單元 85% Al2O3 95% Al2O3 99% Al2O3 99.5% Al2O3
密度 克/立方厘米 3.3 3.65 3.8 3.9
吸水率 % <0.1 <0.1 0 0
燒結溫度 1620 1650 1800 1800
硬度 莫氏 7 9 9 9
彎曲強度(20℃) 百萬 200 300 340 360
抗壓強度 公斤力/平方厘米 10000 25000 30000 30000
長時間工作溫度 1350 1400 1600 1650
最高工作溫度 1450 1600 1800 1800
體積電阻率 20℃ Ω·cm³ >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

高純度氧化鋁陶瓷的應用:
1. 應用於半導體設備:陶瓷真空吸盤、切割盤、清洗盤、陶瓷吸盤。
2. 晶圓轉移零件:晶圓搬運卡盤、晶圓切割盤、晶圓清洗盤、晶圓光學檢測吸盤。
3. LED/LCD平板顯示器產業:陶瓷噴嘴、陶瓷磨盤、升降銷、銷軌。
4. 光通訊、太陽能產業:陶瓷管、陶瓷棒、電路板絲網印刷陶瓷刮刀。
5. 耐熱且電絕緣的零件:陶瓷軸承。
目前,氧化鋁陶瓷可分為高純度陶瓷和普通陶瓷。高純度氧化鋁陶瓷系列是指Al₂O₃含量超過99.9%的陶瓷材質。由於其燒結溫度高達1650~1990℃,且透射波長為1~6μm,通常採用熔融玻璃而非鉑坩堝進行加工:由於其良好的透光性和對鹼金屬的耐腐蝕性,可用作鈉管。在電子工業中,可用作積體電路基板的高頻絕緣材料。根據氧化鋁含量的不同,普通氧化鋁陶瓷系列可分為99陶瓷、95陶瓷、90陶瓷和85陶瓷。有時,氧化鋁含量為80%或75%的陶瓷也被歸類為普通氧化鋁陶瓷系列。其中,99號氧化鋁陶瓷材料用於製造高溫坩堝、耐火爐管以及陶瓷軸承、陶瓷密封件和閥板等特殊耐磨材料。 95號鋁陶瓷主要作為耐腐蝕耐磨零件。 85號陶瓷通常摻雜一些其他材料,以提高其電氣和機械強度。它可以與鉬、鈮、鉭等金屬配合使用,部分也用於製造電真空裝置。

 

品質項目(代表性價值) 產品名稱 AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
化學成分低鈉易燒結產品 % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
哈哈 % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂O₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
二氧化矽 % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
氧化鈉 % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
氧化鎂* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂O₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
中等粒徑(MT-3300,雷射分析法) 微米 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α晶體尺寸 微米 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0.3 ~ 4 0.3 ~ 4
形成密度** 克/立方厘米 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
燒結密度** 克/立方厘米 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
燒結線收縮率** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO 不計入 Al₂O₃ 的純度計算中。
* 無結垢粉末 29.4MPa (300kg/cm²),燒結溫度為 1600°C。
AES-11 / 11C / 11F:添加 0.05 ~ 0.1% MgO,燒結性能優異,因此適用於純度超過 99% 的氧化鋁陶瓷。
AES-22S:燒結線具有成型密度高、收縮率低的特點,適用於滑模鑄造和其他對尺寸精度要求較高的大型產品。
AES-23 / AES-31-03:與 AES-22S 相比,其成型密度、觸變性和黏度更高。前者用於陶瓷,後者用作防火材料的減水劑,越來越受歡迎。

♦碳化矽(SiC)特性

一般特徵 主要成分純度(wt%) 97
顏色 黑色的
密度(克/立方厘米) 3.1
吸水率(%) 0
機械特性 抗彎強度(兆帕) 400
楊氏模量(GPa) 400
維氏硬度(GPa) 20
熱特性 最高工作溫度(攝氏) 1600
熱膨脹係數 室溫~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) 室溫~800°C 4.3
熱導率(W/m·K) 130 110
熱衝擊阻力 ΔT (°C) 300
電氣特性 體積電阻率 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
介電常數 10GHz -
介電損耗(×10-4) -
Q 因子(×10⁴) -
介質擊穿電壓(千伏特/毫米) -

20200507170353_55726

♦氮化矽陶瓷

材料 單元 Si₃N₄
燒結法 - 氣體壓力燒結
密度 克/立方厘米 3.22
顏色 - 深灰色
吸水率 % 0
楊氏模量 平均績點 290
維氏硬度 平均績點 18-20
抗壓強度 百萬 2200
彎曲強度 百萬 650
熱導率 瓦/米開爾文 25
熱衝擊阻力 Δ (°C) 450 - 650
最高工作溫度 攝氏度 1200
體積電阻率 Ω·cm > 10 ^ 14
介電常數 - 8.2
介電強度 kV/mm 16