氣浮超精密運動模組：花崗岩精密底座、陶瓷底座。

在超精密運動控制領域，氣浮超精密運動模組的性能高度依賴其底座的特性。花崗岩精密底座和陶瓷底座作為兩種備受關注的選擇，各有獨特的優勢，在穩定性、精度保持性、耐用性等關鍵維度上存在明顯差異。

穩定性：自然緊湊性與人為精確性
花崗岩經過漫長的地質年代形成，內部結構緻密均勻，石英、長石等礦物緊密交織。面對外部幹擾，例如車間大型設備運作產生的振動，花崗岩底座憑藉其複雜的晶體結構能夠有效阻隔衰減，使傳遞到氣浮的超精密運動模組的振動幅度降低80%以上，為模組提供穩定的運行基礎，確保其在高精度加工或檢測過程中平穩運動。
陶瓷底座採用先進的合成工藝製造，其內部結構均勻性也十分出色。一些高性能陶瓷材料的微觀結構近乎完美，可以對振動形成高效的阻尼效果。在一些對振動極為敏感的光學檢測設備中，陶瓷底座可以將振動幹擾抑制在極小的範圍內，確保氣浮超精密運動模組的高精度運動，但在應對大範圍、高強度的振動時，其整體穩定性略遜於花崗岩底座。
精度保持：低膨脹的天然優勢和高溫穩定性的人造奇蹟
花崗岩以其極低的熱膨脹係數而聞名，一般為5-7×10⁻⁶/℃。在溫度波動的環境中，花崗岩精密底座的尺寸變化很小。例如，在天文學領域，用於望遠鏡鏡頭微調的超精密運動模組與花崗岩底座搭配，即使在晝夜溫差很大的環境下，也能確保鏡頭的定位精度保持在亞微米級，幫助天文學家捕捉遙遠天體的細微變化。

陶瓷材料也表現出良好的高溫穩定性和低膨脹特性，一些特殊陶瓷的熱膨脹係數甚至可以低至接近零。在高溫或溫度快速變化的情況下，陶瓷基座能夠保持穩定的尺寸，確保氣浮超精密運動模組的運動精度不受影響。在半導體晶片製造的光刻製程中，光刻設備需要持續在高精度環境下運行，陶瓷基座能夠在設備產生的高熱環境下保持模組的定位精度，滿足晶片製造對奈米級精度的嚴格要求。
耐用性：天然礦石的高硬度和耐腐蝕的合成材料
花崗岩硬度較高，莫氏硬度可達6-7級，具有良好的耐磨性。在材料科學實驗室中，經常使用的氣浮超精密運動模組，其花崗岩底座能夠有效抵抗氣浮滑塊的長期摩擦，與普通材料底座相比，可延長模組的維護週期50%以上，大大降低了設備維護成本，保障了科研工作的連續性。
陶瓷材料不僅硬度高，還具有優異的耐腐蝕性。在一些存在化學腐蝕風險的工業環境中，例如化學產品檢測設備中氣浮器的超精密運動模組，陶瓷基座可以抵抗腐蝕性氣體或液體的侵蝕，長期保持表面完整性和機械性能，在特定的惡劣環境下，其耐用性優於花崗岩基座。
製造成本與加工難度：天然石材的開採加工挑戰與人工合成的技術門檻
花崗岩原料的開採、運輸過程複雜，加工對設備和技術要求非常高。由於其硬度高、脆性大，在切割、打磨、拋光等工序中容易出現崩邊、裂紋等問題，廢品率較高，導致製造成本高。
陶瓷基底的製造依賴先進的合成和精密加工技術，從原料製備、成型到燒結，每一步都需要精確的控制。高性能陶瓷基底的研發和生產前期投入巨大，技術門檻較高，但一旦實現規模化生產，成本有望得到有效控制，在高端應用領域具有高性價比的潛力。
整體而言，花崗岩精密底座在整體穩定性和常規耐久性方面表現優異，而陶瓷底座在極端溫度環境適應性和耐腐蝕耐久性方面則具有獨特的優勢。底座的選擇需根據氣浮超精密運動模組的具體應用場景、環境條件和成本預算而定。