花崗岩平台作為精密測量和加工的基準工具，其精度維護直接影響生產品質。以下提供涵蓋環境控制、日常維護和專業校準的系統維護方案，確保平台長期維持奈米級精度。
1.環境管控：構築精準防護屏障
溫濕度管理
工作環境溫度需穩定在20±1℃。每1℃的波動將導致花崗岩平台0.5-1μm/m的熱變形。車間可安裝恆溫系統，避免空調出風口直吹平台。
濕度應控制在40%~60%之間，濕度過高容易造成金屬零件生鏽，濕度過低容易造成測量中的靜電幹擾。
隔振
平台應遠離沖壓機、銑床等振動源，建議與振動設備保持3公尺以上的距離。
若無法避免震動，可在平台底部安裝空氣彈簧避震器，減少環境振動對平台平整度的影響（可減少外部振動80%以上）。
2. 日常維護：從清潔到防護的細緻把控
表面清潔規範
除塵：每天用鹿皮或不起毛的布沿著同一方向擦拭表面，防止灰塵顆粒（≥5μm）刮傷平台。頑固污漬可用無水乙醇（純度≥99.7%）輕輕擦拭。切勿使用丙酮等強溶劑。
除油：若接觸到油污，可用稀釋的中性清潔劑擦拭，再用去離子水沖洗、風乾，以免礦物油滲入平台的微小毛孔。
負載和碰撞保護
平台承重應控制在額定載重的70%以內（例如1000kg的平台，建議載重≤700kg），避免局部超載造成永久變形。
嚴禁敲擊平台上的工件，操作工具時，請戴上軟手套，防止尖銳物體刮傷表面（深度大於20μm的刮痕會影響反射光路的測量）。
3. 專業校準：科學保持精準度的核心
校準週期設定
常規使用場景：每季校準一次，使用雷射干涉儀檢測平整度（精度±0.5μm/m）。
高頻使用或惡劣環境：每月校準，重點監控溫度敏感區域（如靠近熱源的平台邊緣）。
校準後處理
若發現平面度偏差（如＞±1μm/m），必須由專業技師以W1.5微粉進行研磨修復，嚴禁自行用砂紙研磨。
校準後應記錄並存檔數據，並建立平台精度衰減曲線，提前預測維護需求。
4. 儲存和運輸：避免隱藏的精度損失
長期儲存的要點
存放時應加蓋防潮、防塵罩，底部採用三點支撐（支撐點位於平台長度的2/9處），防止因重力而產生彎曲變形（1米平台長期單點支撐可能下垂0.3μm）。
定期（每月）移動平台支撐點的位置，以避免長期局部受壓。
運輸保護計劃
短距離運輸：用減震泡沫包裹，固定在剛性框架內，並將加速度保持在2g以內。
長途運輸：需真空包裝並充乾燥氮氣，到貨後需靜置24小時待溫度達到平衡後方可開箱，防止冷凝水影響精度。
5. 故障預測：辨識早期問題的技術
目視檢查：定期用40倍放大鏡觀察表面。如果發現連續的刮痕或光澤度明顯下降，則可能表示精度下降。
聲音偵測：輕敲平台。如果聲音變得嘶啞（正常情況下聲音應該清晰），則內部可能存在微裂紋。請立即停止使用並進行檢測。
透過此維護體系，ZHHIMG®花崗岩平台10年內可維持±1μm/m的平面度，比未妥善維護的平台精度壽命提高三倍以上。實務證明，某半導體廠採用此方案後，平台校準頻率降低了50%，每年節省維修費用15萬多元。
發佈時間：2025年6月18日