高精度花崗岩機器底座能否提升晶圓開槽機的性能？

在半導體製造領域，晶圓開槽機在晶圓上形成精確的溝槽方面發揮著至關重要的作用。這些機器的性能可能會對
d 取決於機器底座的選擇。 ZHHIMG® 提供的高精度花崗岩機器底座已成為這方面的顛覆者。
精確開槽的穩定性
穩定性在晶圓開槽加工中至關重要。花崗岩的密度高達約 3100 kg/m³，可提供極為穩定的基座。在開槽過程中，切削刀具會對晶圓施加力。穩定的機器底座（例如由花崗岩製成的底座）可確保晶圓夾持裝置牢固就位。這種穩定性可最大限度地減少晶圓不必要的移動或振動，從而使切削刀具能夠高精度地加工出凹槽。相反，穩定性較差的基座材料可能會導致晶圓輕微偏移，導致凹槽過寬、過窄或不平整，嚴重影響最終半導體裝置的功能。

減震，確保平穩運行
振動是任何加工過程中固有的問題，晶圓開槽也不例外。晶圓開槽機中切削刀具的高速旋轉會產生振動。如果無法有效抑制這些振動，可能會導致晶圓邊緣崩裂、槽深不均勻以及表面光潔度不佳。花崗岩具有優異的減震性能。其由互鎖礦物顆粒組成的天然結構，可充當天然的避震器。當振動發生時，能量會在花崗岩內部消散，從而減少對晶圓和切削刀具的衝擊。這使得切削操作更順暢，刀具壽命更長，並且開槽晶圓的品質更高。
熱阻可確保結果一致
半導體製造設備通常在受控環境中運行，但仍可能有輕微的溫度波動。花崗岩的熱膨脹係數非常低。這意味著，即使晶圓開槽過程中溫度略有變化（無論是由於切割刀具產生的熱量還是環境溫度變化），花崗岩機器底座也不會顯著膨脹或收縮。在晶圓開槽過程中，精度公差在微米甚至奈米範圍內，熱引起的尺寸變化可能造成災難性的後果。花崗岩的熱穩定性有助於保持機器部件的對準，確保開槽過程始終保持精確性和一致性。
長期耐用
晶圓開槽機在大批量半導體製造中持續使用。機器底座承受著機械應力、摩擦和偶爾的衝擊。花崗岩的高硬度和耐磨性使其成為長期使用的理想材料。它能夠承受日常操作的嚴苛考驗，不會有明顯的磨損或變形。這種耐用性減少了因底座相關問題而頻繁更換或進行昂貴維護的需求。此外，花崗岩具有化學惰性，這意味著它能夠抵抗半導體製造過程中使用的化學物質的腐蝕，從而進一步延長其使用壽命。
總而言之，高精度花崗岩機座確實可以提升晶圓開槽機的性能。花崗岩機座具有穩定性、減震性、抗熱變化和長期耐用性，有助於實現更精確、更有效率、更可靠的晶圓開槽操作。在考慮升級或購買新的晶圓開槽設備時，選擇配備高精度花崗岩機座的機器（例如 ZHHIMG® 的產品）是明智之舉，它可以顯著提高半導體製造的品質和生產力。