在競爭激烈的先進顯示器製造領域，市場領先地位與淘汰之間的差距往往取決於一個因素：精確度。低溫多晶矽 (LTPS) 陣列（高解析度、高性能 OLED 和 LCD 螢幕的基礎）的製造和檢測對精度要求極高，幾乎達到了工程技術的極限。而實現如此超高的精度，首先要從設備本身的物理基礎做起。因此，為 LTPS 陣列設備選擇花崗岩底座，不僅僅是設計選擇，更是基本要求。
低溫多晶矽陣列製造工藝，特別是雷射結晶以及後續的微影和沈積步驟，對環境雜訊極為敏感，包括細微的振動和溫度變化。即使在控制最嚴格的無塵室環境中，微小的變化也會對陣列的良率和均勻性產生嚴重影響。檢測階段－由高度精密的設備執行，以確保每個電晶體完美成型－對結構完整性的要求更高。而這正是 Granite 平面顯示器低溫多晶矽陣列偵測設備的卓越優勢所在。
低溫性能係統檢測的熱力學和動力學必要性
低溫多相半導體（LTPS）技術能夠提高電子遷移率，從而製造出更小、更有效率的電晶體，並最終實現更新率驚人、功耗更低的顯示器。然而，其涉及的結構非常微觀，尺寸以微米計。為了使複雜的檢測設備能夠精確定位、測量和分析缺陷，其操作平台必須幾乎靜止不動且尺寸不變。
鑄鐵或鋼等傳統材料雖然堅固耐用，但本身就容易發生熱膨脹。普通鋼材的熱膨脹係數（CTE）遠高於黑花崗岩。這意味著環境溫度即使只升高一兩度，也會導致鋼製機械結構發生更劇烈的膨脹和收縮。在陣列檢測中，這種熱漂移會導致位置誤差、光路錯位，以及潛在的讀數不準確，可能導致合格面板被拒收或缺陷面板被接收。
相反，使用專為LTPS陣列設備設計的花崗岩工具機平台，可提供熱膨脹係數極低的平台。這種熱穩定性確保了機器的關鍵幾何形狀——測量感測器與LTPS基板之間的距離——保持恆定，從而實現對品質控制至關重要的、一致且可重複的亞微米級測量。
無與倫比的振動阻尼和剛度
除了熱穩定性之外，花崗岩固有的材料特性使其在應對動態和振動方面具有顯著優勢。先進的檢測系統採用高速平台和精密的掃描機構，這些機構會產生微小的機械運動和振動。這些內部力，加上來自空氣處理機或鄰近機械的外部噪聲，必須迅速消除，以防止運動模糊或讀數不穩定。
花崗岩極高的內部阻尼能力至關重要，它能比金屬更快地耗散振動能量。它就像一個被動減震器，確保機器在每次運動後都能迅速恢復到完全靜止的狀態。此外，花崗岩的高彈性模量和高密度也造就了極其堅固的結構，最大限度地減少了重型龍門系統、光學組件和真空室等部件重量造成的靜態變形。
本質上，透過為低溫多晶矽陣列（LTPS Array）應用選擇精密加工的花崗岩機台，工程師們建構了一個熱穩定性好、噪音低、結構堅固的基礎。這三個特性對於實現現代LTPS顯示器製造所需的產量和良率目標至關重要。
源自於大自然的完美工程
最終產品——花崗岩工具機底座——與粗糙的採石場石材截然不同。它是計量學的傑作，其加工精度通常達到微米級甚至亞微米級。採用特殊製程確保花崗岩消除應力並達到絕對平整。這種高度精煉的天然材料為所有後續的機械和光學校準提供了最終的參考平面。
對於低溫多相太陽能電池陣列設備製造商而言，採用高精度花崗岩可確保其設備持續高效運行，直接轉化為更高的產量和更高品質的顯示產品，最終惠及消費市場。這充分證明，當工程技術追求絕對完美時，地球上最穩定的天然材料無疑是最可靠的解決方案。
發佈時間：2025年12月3日