如果沒有合適的基礎,您的液晶面板檢測設備能達到亞微米級精度嗎?

高科技檢測中精密花崗岩的隱形必要性

在微電子和顯示器製造領域對完美的不懈追求中,高良率製程與高昂廢品率之間的差異往往取決於測量設備的穩定性。隨著液晶/OLED面板向4K、8K甚至更高解析度發展,晶圓特徵尺寸縮小至奈米級,負責驗證這些公差的檢測和計量設備面臨前所未有的挑戰。核心挑戰並非感測器技術本身,而是其所依賴的實體平台固有的不穩定性。正是在此背景下,精密花崗岩——特別是中匯集團(ZHHIMG®)的先進工程解決方案——脫穎而出,成為不可或缺的技術基石,而非普通商品。

全球精密製造領域需要一種尺寸穩定、天然惰性且能夠抑制高倍率系統所面臨的微小振動的基礎材料。在高速、高解析度偵測工具中,從金屬基底轉向花崗岩基底已成為一項普遍接受的設計原則。然而,並非所有花崗岩都具有相同的特性,因此在設計諸如晶圓檢測系統的花崗岩基底或液晶面板檢測設備平台專用花崗岩基底等組件時,材料的選擇至關重要。

穩定性物理學:為什麼 ZHHIMG® 黑色花崗岩至關重要

ZHHIMG®之所以能維持業界領先地位,其核心在於我們專有的ZHHIMG®黑色花崗岩卓越的技術性能。常見的替代材料——無論是普通密度花崗岩,還是更糟糕的廉價大理石替代品——都無法滿足現代檢測設備的嚴格要求。

關鍵因素是密度。 ZHHIMG®黑色花崗岩的比重高達約3100 kg/m³,而大理石或低等級花崗岩的比重約為2700 kg/m³,因此該材料的單位體積質量顯著更高。更高的質量與兩個重要的性能指標直接相關:振動阻尼和尺寸穩定性。

對於液晶面板檢測設備而言,其花崗岩組件結構(通常是跨越數公尺的大型複雜龍門架或橋式組件)至關重要,因為其能夠快速耗散機械能。冷卻風扇、線性馬達或環境雜訊引起的任何振動都必須在轉換為測量點位置誤差之前衰減。 ZHHIMG® 的高密度材料具有卓越的阻尼係數,確保檢測頭相對於面板保持靜止,從而實現精確且可重複的測量,精度可達亞微米級,滿足識別 Mura 缺陷或檢查對準精度的要求。

此外,我們黑色花崗岩極低的膨脹係數 (CTE) 和可忽略不計的吸水率 (<0.05%) 確保了其卓越的尺寸穩定性。在佔地 10,000 平方米的恆溫恆濕組裝環境中,ZHHIMG® 的複雜組件均在此完成最終加工,我們竭盡全力消除應力。這意味著,大型液晶面板檢測設備的花崗岩底座不會因環境溫度或濕度的輕微波動而變形或移位,這種穩定性是對溫度敏感的金屬框架無法比擬的。這項技術優勢確保了早上校準的系統在多班次運行中始終保持精準。

卓越工程:從原石到超精密零件

晶圓檢測設備用花崗岩底座的設計和製造對精度要求極高,全球鮮有製造商能夠達到。這些底座並非簡單的平板,而是複雜的多功能組件,包含氣浮軸承表面、用於電纜佈線的專用切口,以及數百個用於連接線性導軌和計量感測器的螺紋金屬嵌件。

ZHHIMG®始終堅持對品質的堅定承諾,這項原則體現在我們作為業界唯一一家同時擁有ISO9001、ISO 45001、ISO14001和CE認證的企業所取得的卓越地位。這種嚴謹的系統性體現在製造過程的每一個環節:

  1. 大規模加工:我們的工廠配備了包括台灣南特(NANT)研磨機和重型龍門起重機在內的基礎設施,能夠加工長度達20米、重量達100噸的整體式基板。這種能力確保了大型基板(例如用於第八代或第十代液晶顯示器檢測的基板)可以一次性製造成結構統一的整體,從而避免了潛在的接縫和連接誤差。

  2. 精湛的研磨和精加工:現代數控加工雖然能夠提供粗略的幾何形狀,但最後也是至關重要的一步,但卻是手工研磨的精湛技藝。 ZHHIMG® 的大師級工匠,其中許多人擁有超過 30 年的經驗,他們擁有極其敏銳的觸覺,因此常被客戶譽為「行走的電子水平儀」。這種專業水平使我們能夠將表面平整度、平行度和垂直度精細調整到奈米級,這對於安裝高精度直線馬達和氣浮軸承而言,是不可妥協的要求。

  3. 可追溯計量:我們的產品在專用的、高度隔離的、溫濕度控制的測試車間內進行驗證。測量採用全球認可的可追溯設備,包括雷尼紹雷射干涉儀和威勒電子水平儀,確保每個組件的精度均可根據國際標準進行驗證,並可追溯至國家計量機構。我們的品質方針「精密製造,永無止境」正是這項承諾的直接體現。

應用領域:晶圓、面板及其他

對高穩定性平台的需求將超精確產業的各個細分領域連結在一起。用於液晶面板偵測設備的精密花崗岩是確保機器在整個運作範圍內幾何完整性的最重要被動組件。在此應用中,穩定性直接轉化為更高的吞吐量和更少的錯誤讀數,從而保護價值數百萬美元的生產線。

同樣,晶圓檢測設備的基座花崗岩必須為精密光學系統或原子力顯微鏡 (AFM) 提供絕對穩定的表面,這些設備用於檢測以數十奈米為單位測量的電路圖案。對於這些系統而言,ZHHIMG® 花崗岩的高密度和熱穩定性至關重要,可防止微小的熱漂移影響影像擷取或探針定位。

除了檢測之外,ZHHIMG® 的專業技術還涵蓋整個超精密製造生態系統,包括:

  • 用於雷射微加工和飛秒加工的精密平台。

  • 座標測量機 (CMM) 和光學比較儀的底座。

  • 高速直線馬達龍門架和XY工作台的結構框架。

精密陶瓷直尺

建立在誠信和全球信任基礎上的夥伴關係

選擇精密花崗岩供應商不僅是一項採購決策,更是對您高價值設備的幾何精度和可靠性的長期投資。 ZHHIMG® 深受全球領導者的信賴,其中包括世界頂尖的科技和航空航太公司,以及新加坡國立大學和美國國家標準與技術研究院 (NIST) 等知名研究機構。

我們對客戶的承諾體現在我們的核心價值中:絕不欺騙、絕不隱瞞、絕不誤導。我們提供透明的技術規格和專家團隊協作,從最初的設計階段到交貨和安裝,全程為您保駕護航。作為一家擁有20多項國際專利並致力於推動超精密產業發展的企業,ZHHIMG® 已成為那些對核心性能有著極致追求的製造商的權威合作夥伴。

在競爭激烈的市場中,精確度至關重要,因此問題依然存在:您的偵測設備是否建立在體現您對品質承諾的基礎上?答案就在 ZHHIMG® 的工程花崗岩組件中。


發佈時間:2025年11月28日