花崗岩床需要定期更換嗎？它的使用壽命是多久？

花崗岩檯面是許多半導體設備的關鍵部件，它為晶圓加工提供平整穩定的表面。其耐用性和長壽命使其成為製造商的熱門選擇，但需要定期維護才能保持最佳狀態。

首先，值得注意的是，花崗岩是一種天然材料，具有極強的耐磨性。它密度高、孔隙率低，因此不易腐蝕和變形。這意味著，只要維護得當，花崗岩床鋪可以使用多年而無需更換。

然而，即使花崗岩基座具有良好的韌性，隨著時間的推移，它仍然會受到損壞，尤其是在暴露於強腐蝕化學物質或極端溫度的情況下。因此，定期檢查和清潔至關重要，以確保其表面保持光滑，無任何可能影響晶圓加工的缺陷。

就使用壽命而言，只要保養得當，花崗岩床可以使用多年。確切的使用壽命取決於多種因素，例如所使用的花崗岩品質、磨損程度以及維護保養的頻率。

一般來說，大多數半導體設備製造商建議每 5-10 年更換一次花崗岩檯面，或當出現明顯的磨損跡象時就應更換。雖然這個更換頻率看似很高，但考慮到晶圓加工所需的高精度和高準確度，這一點至關重要。花崗岩表面的任何缺陷都可能導致成品出現誤差或不一致，造成嚴重的經濟損失。

總之，花崗岩檯面是半導體設備中的關鍵零件，只要維護得當，就能使用多年。雖然可能需要每5-10年更換一次，但投資最高品質的花崗岩並定期維護，對於確保晶圓加工的最佳性能和精度是值得的。