花崗岩床需要定期更換嗎？它的使用壽命是多久？

花崗岩床身是許多半導體設備的關鍵部件，為晶圓加工提供平坦穩定的表面。其耐用持久的特性使其成為製造商的熱門選擇，但需要進行一些維護才能保持最佳狀態。

首先，要注意的是，花崗岩是一種耐磨損的天然材料。它密度高，孔隙率低，不易腐蝕和變形。這意味著只要保養得當，花崗岩床可以使用很多年而無需更換。

然而，即使花崗岩床身擁有極佳的彈性，隨著時間的推移，它仍然可能受損，尤其是在暴露於刺激性化學物質或極端溫度下時。因此，定期檢查和清潔至關重要，以確保表面保持光滑，無任何可能影響晶圓加工的缺陷。

就使用壽命而言，只要保養得當，花崗岩床可以使用很多年。確切的使用壽命取決於多種因素，例如所使用的花崗岩品質、磨損程度以及維護量。

一般來說，大多數半導體設備製造商建議每5-10年或出現明顯磨損跡象時更換一次花崗岩工作台。雖然這看起來似乎是一個很高的更換頻率，但考慮到晶圓加工所需的高精度和準確度，這一點至關重要。花崗岩表面的任何缺陷都可能導致成品出現錯誤或不一致，從而造成重大的經濟損失。

總而言之，花崗岩床身是半導體設備的關鍵部件，只要維護得當，可以使用多年。雖然可能需要每5-10年更換一次，但投資最高品質的花崗岩並定期維護，以確保晶圓加工的最佳性能和精度，是值得的。