花崗岩氣浮系統被廣泛應用。超精密用於半導體製造、光學對準和奈米級計量的運動平台。
這些系統利用一層薄薄的加壓空氣膜消除了機械接觸，實現了近乎零摩擦的運動。
氣浮原理
氣浮軸承的工作原理是在兩個表面之間引入壓縮空氣，形成 2-20 μm 的氣膜。
這樣就排除了：
- 機械摩擦
- 穿
- 黏滑行為
該系統依賴流體膜動力學和穩定的層流。
花崗岩的作用
花崗岩提供：
- 結構穩定性
- 熱漂移抑制
- 振動阻尼
它作為運動系統的機械參考基礎。
系統組件
- 花崗岩底座
- 氣浮軸承墊
- 空氣供應系統
- 精密編碼器
- 運動控制系統
性能特徵
典型演出內容包括：
- 亞微米級定位精度
- 長距離行駛時直線度高
- 零機械反沖
主要誤差來源包括氣壓不穩定、熱漂移和編碼器誤差。
應用程式
- 半導體晶圓檢測
- 光刻系統
- 光學對準平台
- 高階計量設備
常問問題
氣浮軸承會磨損嗎？
無機械接觸消除了磨損。
為什麼要使用花崗岩？
為了提高穩定性和抑制振動。
什麼因素會限制準確性？
空氣穩定性和熱效應。
它們能承載重物嗎？
是的，這取決於設計。
發佈時間：2026年7月3日