花崗岩組件可幫助 XYZT 精密龍門運動平台確保半導體製造精度。

在半導體製造車間，晶片製造製程對環境條件和設備精度的要求極為苛刻，任何微小的偏差都可能導致晶片良率的顯著下降。 XYZT精密龍門運動平台採用花崗岩部件，與其他平台部件協同工作，為實現奈米級精度奠定了堅實的基礎。
優異的減振性能
在半導體製造車間，外圍設備的運作和人員走動都可能引起振動。花崗岩部件內部結構緻密均勻，具有天然的高阻尼特性，如同高效的振動「屏障」。當外部振動傳遞到XYZT平台時，花崗岩零件能夠有效衰減80%以上的振動能量，並降低振動對平台運動精度的干擾。同時，平台也配備了高精度氣浮導向系統，與花崗岩零件協同工作。氣浮導向系統利用高壓氣體形成的穩定氣膜，實現平台運動部件的非接觸式懸浮運動，進而降低機械摩擦引起的微小振動。兩者共同作用，確保平台在晶片光刻、蝕刻等關鍵製程中始終保持奈米級定位精度，避免振動導致晶片電路圖案偏差。
優異的熱穩定性
車間內溫濕度的波動對晶片製造設備的精度影響很大。花崗岩的熱膨脹係數極低，一般在5-7×10⁻⁶/℃，因此在溫度變化時尺寸幾乎不變。即使車間晝夜溫差或設備發熱導致環境溫度波動，花崗岩零件也能保持穩定，防止平台因熱脹冷縮而變形。同時，平台配備的智慧溫控系統即時監測環境溫度，自動調節空調和散熱設備，將車間溫度維持在20℃±1℃。結合花崗岩優異的熱穩定性，確保平台在長期運作中，各軸的運動精度始終滿足晶片製造的奈米級精度標準，從而確保晶片光刻圖案尺寸精確、刻蝕深度均勻。
滿足清潔環境的需求
半導體製造車間需要保持高度潔淨，以防止灰塵顆粒污染晶片。花崗岩材料本身不產生灰塵，且表面光滑，不易吸附灰塵。整個平台採用全封閉或半封閉結構設計，有效減少外部灰塵進入。內部空氣循環系統與車間的潔淨空調系統相連，確保內部空氣潔淨度達到晶片製造所需的標準。在這種潔淨環境下，花崗岩組件不會因灰塵侵蝕而影響性能，平台上的高精度感測器和馬達等關鍵組件也能穩定運行，為晶片製造提供持續可靠的奈米級精度保障，助力半導體產業邁向更高製程水準。