花崗岩零件幫助XYZT精密龍門運動平台確保半導體製造精度。

在半導體製造車間，晶片製造製程對環境條件和設備精度的要求極為苛刻，任何細微的偏差都可能導致晶片良率的大幅下降。 XYZT精密龍門運動平台依靠花崗岩部件與平台其他部件的協同作用，為實現奈米級精度建立了堅實的基礎。
優異的防震性能
在半導體製造車間，週邊設備的運作和人員的走動都可能引起振動。花崗岩組件內部結構緻密均勻，具有天然的高阻尼特性，如同一道高效的減振「屏障」。當外界振動傳遞到XYZT平台時，花崗岩組件可有效衰減80%以上的振動能量，並降低振動對平台運動精確度的干擾。同時，平台配備高精度氣浮導向系統，與花崗岩組件協同工作。氣浮導向利用高壓氣體形成的穩定氣膜，實現平台運動部件的非接觸式懸浮運動，並降低機械摩擦引起的微小振動。二者共同確保在晶片光刻、刻蝕等關鍵製程中，平台定位精度始終保持在奈米級，避免因振動導致晶片電路圖案偏差。
優異的熱穩定性
車間溫濕度的波動對晶片製造設備的精度影響很大。花崗岩的熱膨脹係數很低，一般在5-7×10⁻⁶/℃，溫度變化時尺寸幾乎不變。即使車間晝夜溫差或設備產熱導致環境溫度波動，花崗岩構件仍能維持穩定，防止平台因熱脹冷縮而變形。同時，平台配備的智慧溫控系統即時監測環境溫度，自動調節空調和散熱設備，使車間溫度維持在20℃±1℃。結合花崗岩熱穩定性的優勢，確保平台在長期運作中，各軸的運動精度始終滿足晶片製造奈米級精度標準，確保晶片光刻圖形尺寸精確、刻蝕深度均勻。
滿足潔淨環境的需求
半導體製造車間需要維持較高的潔淨度，防止塵埃顆粒污染晶片。花崗岩材料本身不產塵，且表面光滑，不易吸附灰塵。平台整體採用全封閉或半封閉結構設計，減少外部灰塵的進入。內部空氣循環系統與車間潔淨空調系統連動，確保內部空氣潔淨度達到晶片製造所需的水平。在這種潔淨環境下，花崗岩元件不會因塵埃侵蝕而影響性能，平台的高精度感測器、馬達等關鍵零件也能穩定運行，為晶片製造提供持續可靠的奈米級精度保障，助力半導體產業邁向更高的製程水準。