在半導體晶圓檢測領域，無塵室環境的潔淨度直接關係到產品的良率。隨著晶片製程精度的不斷提升，對偵測設備承載平台的要求也愈發嚴格。花崗岩平台憑藉其零金屬離子釋放、低顆粒污染的特性，已超越傳統的不銹鋼材質，成為晶圓檢測設備的首選解決方案。
花崗岩是一種天然火成岩，主要由石英、長石和雲母等非金屬礦物組成，此特性使其具有零金屬離子釋放的優勢。而不銹鋼作為鐵、鉻、鎳等金屬的合金，在無塵室環境中，受水蒸氣、酸性或鹼性氣體的侵蝕，其表面易發生電化學腐蝕，析出Fe²⁺、Cr³⁺等金屬離子。這些微小離子一旦附著在晶圓表面，就會在後續的光刻、蝕刻等製程中改變半導體材料的電學性質，造成電晶體的閾值電壓漂移，甚至導致電路短路。專業機構檢驗數據顯示，花崗岩平台在模擬無塵室溫濕度環境（23±0.5℃，45%±5% RH）中連續暴露1000小時後，金屬離子釋放量低於檢測極限（<0.1ppb）。使用不鏽鋼平台時因金屬離子污染而導致晶圓缺陷率高達15%至20%。
在顆粒污染控制方面，花崗岩平台同樣表現優異。無塵室對空氣中懸浮微粒濃度的要求極高，例如，在ISO 1級無塵室中，每立方公尺允許的0.1μm顆粒數量不超過10個。即使不鏽鋼平台經過拋光處理，仍可能因設備振動、人員操作等外力作用而產生金屬碎屑或氧化皮剝落，幹擾檢測光路或刮傷晶圓表面。花崗岩平台因其緻密的礦物結構（密度≥2.7g/cm³）和較高的硬度（莫氏硬度6-7），在長期使用過程中不易磨損或破損。實測顯示，與不鏽鋼平台相比，花崗岩平台可將偵測設備區域空氣中的懸浮顆粒濃度降低40%以上，有效維持無塵室等級標準。
除了潔淨特性外，花崗岩平台的綜合性能也遠超不銹鋼。在熱穩定性方面，其熱膨脹係數僅為（4-8）×10⁻⁶/℃，不到不銹鋼（約17×10⁻⁶/℃）的一半，在潔淨室內溫度波動時能更好地保持檢測設備的定位精度。高阻尼特性（阻尼比>0.05）可迅速衰減設備振動，防止偵測探頭晃動。其天然的耐腐蝕性使其即使暴露於光阻溶劑、蝕刻氣體等化學物質中也能保持穩定，無需額外的塗層保護。
目前，花崗岩平台廣泛應用於先進的晶圓製造工廠。數據顯示，使用花崗岩平台後，晶圓表面顆粒檢測誤判率降低了60%，設備校準週期延長了三倍，綜合生產成本下降了25%。隨著半導體產業邁向更高精度，花崗岩平台憑藉零金屬離子釋放、低顆粒污染等核心優勢，將持續為晶圓檢測提供穩定可靠的支撐，成為推動產業進步的重要力量。
發佈時間：2025年5月20日