空氣軸承與精密花崗岩的協同作用
用於超精密系統的無摩擦運動
傳統機械導軌在高速運動過程中會產生磨損、摩擦和發熱。 ZHHIMG® 精密花崗岩梁採用特殊氣浮孔,使零件能懸浮在一層薄薄的壓縮空氣膜上。這種無摩擦運動消除了機械間隙,從而實現了平穩、不間斷的亞微米定位。
超強平順性,持久耐用
氣浮軸承需要極度平整的對接面才能正常運作。我們的技藝精湛的工匠對花崗岩梁進行精細加工,使其平整度達到每米1至2微米以內。這種絕對的精度可防止氣膜塌陷,確保整個線性平台軸線上浮動高度的一致性。
消除磨損和維護停機時間
由於移動龍門架與花崗岩導軌表面之間沒有直接的物理接觸,因此在運作過程中不會產生機械磨損。這延長了半導體裝置的使用壽命。座標測量機無限期有效。它無需使用有害的潤滑油,使無塵室保持絕對無菌狀態。
動態載重下卓越的穩定性
加速的直線馬達對支撐梁施加了巨大的力矩負荷。我們高密度黑色花崗岩具有極高的結構剛度,能夠抵抗動態力作用下的結構變形。這確保了氣隙保持均勻,從而防止高速掃描和雷射切割過程中出現幾何誤差。
導軌系統效能比較
| 績效指標 | ZHHIMG® 花崗岩氣浮軸承 | 標準鋼製直線導軌 | 鑄鐵滑道 |
| 摩擦係數 | 約 0 | 0.002 – 0.005 | 0.05 – 0.10 |
| 磨損與退化 | 無(零接觸) | 中度磨損 | 隨著時間的推移,磨損程度會越來越高 |
| 需要潤滑 | 無(僅限潔淨空氣) | 連續潤滑 | 常規機油潤滑 |
| 定位分辨率 | 奈米級 | 亞微米 | 微米級 |
| 直線度超過1米 | < 0.002 毫米 | 0.010 毫米 | 0.020毫米 |
常問問題
問題1:花崗岩氣浮系統的工作原理是什麼?
A1:潔淨的壓縮空氣經由花崗岩部件上精密加工的氣浮孔輸送。這形成了一個高壓均勻的氣膜,將移動平台抬升到花崗岩表面上方幾微英吋處。
Q2:為什麼製造氣浮樑時首選花崗岩而不是金屬?
A2:金屬表面會因內部應力和溫度變化而變形,這會導致薄薄的空氣間隙變形。 ZHHIMG®黑色花崗岩具有完美的尺寸穩定性,可確保空氣間隙完全均勻。
Q3:如果灰塵進入無摩擦氣浮軸承系統會發生什麼事?
A3:壓縮空氣的持續外流起到天然密封的作用,不斷吹走精密導向面上的微小灰塵顆粒,防止堵塞。
Q4:有效花崗岩氣浮樑的平整度要求為何?
A4:為了維持穩定的氣膜,花崗岩表面的平整度和直線度偏差必須小於2微米。這需要經驗豐富的技術人員進行專業的手工研磨。
Q5:中興機械®能否將客製化嵌件整合到氣浮結構中?
A5:是的。我們將高精度不銹鋼或黃銅螺紋嵌件直接安裝到花崗岩上。這樣您就可以牢固地用螺栓固定線性馬達和編碼器光柵尺。
Q6:ZHHIMG®氣浮軸承組件與雷尼紹編碼器系統相容嗎?
A6:當然。我們的花崗岩梁經過精心設計,可提供穩定、超平坦的基礎,這是雷尼紹雷射干涉儀和線性編碼器以絕對精度讀取資料所必需的。
發佈時間:2026年6月3日
