在半導體製造領域，亞微米精度是確保晶片性能的關鍵，而（ZHHIMG®）花崗岩底座憑藉其材料特性、精密加工和創新設計，成為實現這一精度的核心保障。
從材料特性來看，中海重工®選用的黑色花崗岩密度約為3100kg/m³，內部結構緻密，高密度賦予其優異的穩定性與剛性。半導體設備運作過程中，馬達的轉動、設備內部機械部件的移動都會產生振動，花崗岩底座能夠有效吸收90%以上的振動能量，顯著降低振動對設備精確度的影響。同時，其極低的熱膨脹係數使其在環境溫度波動時變形量保持在很小的範圍內，為半導體設備提供穩定的支撐基礎，防止設備部件因溫度變化而發生位移，從而影響精度。
在加工製造方面，ZHHIMG®工廠採用國際先進的加工設備，擁有四台超大型磨床（單一價值超過50萬美元），可對花崗岩進行高精度研磨。透過五軸聯動數控加工等工藝，機座平面度可達奈米級，為半導體設備的安裝提供超平整的基準面，確保設備各零件的精準定位。此外，佔地10,000平方公尺的恆溫恆濕車間為加工提供了穩定的環境。四周500mm寬、2000mm深的防振溝槽，以及靜音起重機，有效隔離外界振動幹擾，確保機座的處理精度。
此外，ZHHIMG® 還擁有強大的客製化能力。針對半導體設備的特殊要求，可預製精密的安裝孔和走線架，實現設備與底座的完美相容。同時，結合德國Mahr分鐘規（精度達0.5um）、瑞士WYLER電子水平儀等世界一流的計量檢測設備，對機座進行嚴格的檢測和校準，確保每一台機座都能滿足半導體設備對亞微米級精度的嚴苛要求。
正是這些優勢的結合，使得ZHHIMG®花崗岩底座成為半導體設備實現亞微米精度的可靠選擇，助力半導體製造朝向更高精度領域邁進。
發佈時間：2025年6月18日