花崗岩底座應用：花崗岩具有極為穩定的物理性能，內部結構緻密均勻，熱膨脹係數低，硬度高。這使得底座能有效隔離外界振動，減少環境溫度變化對平台精度的影響，並且具有良好的耐磨性，長期使用也能保持穩定的支撐性能，為平台精度提供堅實的基礎。
高精度機械結構設計：平台的機械結構經過精心設計與最佳化，採用高精度導軌、絲槓、軸承等傳動部件。這些部件摩擦力小、剛度高、運動重複性好，能夠精確地傳遞動力並控制平台運動，減少運動過程中誤差的累積。例如，採用空氣靜壓導軌，利用氣膜支撐平台運動，無摩擦、無磨損，精度高，可達到奈米等級的定位精度。
先進的主動隔振技術：配備主動隔振系統，透過感測器即時監控平台的振動狀態，然後根據監測結果，回饋控制執行器，產生與外界振動相反的力或運動，以抵消振動的影響。此主動隔振技術可有效隔離低頻和高頻振動，使平台在複雜的振動環境中保持穩定。例如，電磁主動隔振器具有響應速度快、控制力精確等優點，可將平台的振動振幅降低80%以上。
精密控制系統：平台採用先進的控制系統，例如基於數位訊號處理器（DSP）或現場可程式閘陣列（FPGA）的控制系統，具有高速運算和精確控制的能力。控制系統透過精確的演算法即時監控調整平台的運動，實現高精度的位置控制、速度控制和加速度控制。同時，控制系統也具有良好的抗干擾能力，能夠在複雜的電磁環境下穩定運作。
高精度感測器測量：採用高精度位移感測器、角度感測器等測量設備，即時精確測量平台的運動。這些感測器將測量數據回饋給控制系統，控制系統根據回饋數據進行精確的調整和補償，確保平台的運動精度。例如，採用雷射干涉儀作為位移感測器，其測量精度可達奈米級，可為平台的高精度控制提供精確的位置資訊。
誤差補償技術：透過對平台的誤差進行建模分析，採用誤差補償技術進行修正。例如，對導軌的直線度誤差、螺桿的螺距誤差進行測量和補償，以提高平台的運動精度。此外，還可以透過軟體演算法即時補償溫度變化、負載變化等因素所造成的誤差，進一步提高平台的精確度。
嚴格的製造流程和品質控制：平台製造過程中，採用嚴格的製造流程和品質控制標準，確保每個零件的加工精度和組裝品質。從原料的選擇到零件的加工、組裝和調試，每個環節都經過嚴格的檢驗和測試，確保平台的整體精度和性能。例如，對關鍵零件進行高精度加工，並採用數控加工中心等先進設備，確保零件的尺寸精度和形位公差符合設計要求。
發佈時間：2025年4月11日