I在半導體製造業中，晶圓檢測設備的精度對於確保積體電路的品質至關重要。像ZHHIMG®提供的高精度花崗岩機座在提升此類設備的性能方面發揮著至關重要的作用。以下是它們如何發揮作用。
卓越的尺寸穩定性：花崗岩擁有極低的熱膨脹係數，約為 (4–8)×10⁻⁶/℃，遠低於許多金屬。在半導體工廠嚴格控制的環境中，即使是輕微的溫度波動也可能導致測量誤差，而花崗岩機座卻能保持穩定。這種穩定性確保了晶圓檢測設備中組件的定位精準，避免了任何可能影響檢測結果精度的熱致偏差。
卓越的減震性能生產車間通常充滿來自各種來源的振動。花崗岩固有的阻尼特性（阻尼比為 0.05–0.1）可有效吸收和消散這些振動。對於晶圓檢測
晶圓檢測需要高解析度成像和精確的感測器讀數，而花崗岩底座帶來的減震效果至關重要。它最大限度地減少了可能造成影像模糊或感測器資料失真的干擾，使設備能夠清晰準確地捕捉到晶圓表面和內部結構的資訊。
高剛性和耐磨性 ZHHIMG® 的花崗岩機座密度約為 3100 kg/m³，具有卓越的剛性。它們能夠支撐晶圓檢測設備的重型部件而不變形，從而保持光學和機械系統的校準。此外，花崗岩的高硬度（莫氏硬度 6-7）和出色的耐磨性確保機座表面能夠長期保持平整光滑。這種一致性對於長期保持精度至關重要，因為基座的任何磨損或變形都可能逐漸降低設備的精確度。
化學惰性：半導體製造過程中會接觸到各種化學物質。花崗岩的化學惰性使其能夠抵抗這些物質的腐蝕。這項特性能夠保護機器底座的完整性，防止化學損傷，避免影響檢測設備的穩定性和準確性。
總而言之，高精度花崗岩機器底座不僅僅是一個組件，更是實現晶圓檢測設備嚴格精度要求的關鍵因素。選擇花崗岩機器底座時，請選擇像 ZHHIMG® 這樣的值得信賴的供應商。 ZHHIMG® 擁有多項認證，並致力於提供卓越的品質，確保每個花崗岩機器底座都能提供先進半導體製造所需的可靠性和性能。
發佈時間：2025年6月3日