在半導體和光電製造設備中,花崗岩主要應用在哪裡。

在半導體和光電製造設備中,花崗岩主要應用於精密運動平台、導軌基座、隔振支撐結構、光學元件安裝基板等關鍵零件。這些部件對精度、穩定性和環境耐受性要求極高。花崗岩的特性恰好能夠滿足半導體和光電產業的嚴苛要求。以下是具體應用場景和優勢的分析:
一、主要應用部分
精密運動平台(如光刻機、鍵結機的晶圓平台)
它用於承載晶圓、光學鏡頭等精密零件,實現奈米級精度的平移和旋轉運動。
典型設備:光刻機工件台、測量設備定位平台。
導軌底座及框架結構
作為直線導軌、氣浮導軌的安裝基礎,支撐設備的核心運動機構。
典型設備:半導體封裝設備機械框架、光學檢測儀器。
隔振支撐及穩定結構
它用於隔離外部振動(例如來自工廠車間或設備運行期間的振動),確保光學系統或精密機械的穩定性。
典型場景:光學顯微鏡、雷射干涉儀的底座支撐。
光學元件安裝基板
固定反射鏡、稜鏡、雷射等光學裝置,確保光路系統對位精度的長期穩定性。
典型設備:光電封裝設備、光纖耦合系統。

精密花崗岩16


發佈時間:2025年5月29日