花崗岩是半導體裝置中最常用的材料之一。它是一種堅硬的火成岩，顏色有灰色、粉紅色和白色等多種色調。花崗岩以其耐用性、低熱膨脹係數和優異的導熱性而聞名，使其成為半導體裝置子系統的理想材料。
半導體裝置中使用花崗岩的主要子系統之一是晶圓處理和加工子系統。此子系統在半導體裝置的製造過程中起著至關重要的作用。晶圓是裝置的起始基板，而處理和加工子系統負責在不同的腔室和加工設備之間傳輸晶圓。花崗岩用於創建高精度且平整的晶圓處理表面，並為晶圓加工提供穩定的平台。
另一個使用花崗岩的關鍵子系統是真空子系統。在半導體裝置中，真空室用於避免製造過程中的污染。為了使該系統有效運作，真空室必須完全密封，而這正是花崗岩發揮作用的地方。花崗岩是真空室的理想材料，因為它具有極低的釋氣率，能夠維持穩定的真空環境。此外，花崗岩的高加工精度使其能夠形成完美的密封，為晶圓加工提供可靠的真空環境。
對準子系統是另一個利用花崗岩獨特性能的關鍵系統。此子系統負責精確對準半導體裝置的不同零件。對準台的設計和製造均採用花崗岩，以確保其高剛度和穩定性。花崗岩的高剛度有助於實現高對準精度，從而生產出高精度、高可靠性的半導體裝置。
最後，計量子系統是另一個使用花崗岩的半導體裝置系統。計量在晶圓加工中起著至關重要的作用，該子系統的精度對於確保裝置的品質至關重要。花崗岩提供了一個穩定而堅固的平台，有助於減少振動並最大限度地降低溫度波動的影響。這反過來又有助於在計量子系統中實現高精度測量，從而生產出高品質的半導體裝置。
總而言之，花崗岩是半導體裝置製造的關鍵材料。其獨特的特性，例如高剛性、低熱膨脹和優異的導熱性，使其成為半導體裝置中多個子系統的理想材料，包括晶圓處理和加工、真空子系統、對準子系統和計量子系統。此外，花崗岩在半導體裝置中的應用有助於生產高精度、可靠且高效的裝置，從而改變了許多產業。
發佈時間：2024年3月19日