花崗岩材料因其優異的特性，例如高穩定性、低熱膨脹係數和高耐腐蝕性，而被廣泛應用於半導體產業。這些特性使花崗岩成為晶圓傳輸系統中高精度元件製造的理想材料。
在半導體製造過程中，晶圓傳送系統在晶圓跨製造流程的各個階段的運輸中起著至關重要的作用。精度和準確度是這些系統的基本要求，因為即使是微小的偏差也可能危及整個流程。因此，晶圓傳送系統中的組件必須採用優質材料製成，而花崗岩恰好符合這些標準。
晶圓傳送系統中一些由花崗岩材料製成的部件包括：
1. 真空吸盤工作台
真空吸盤工作台用於在加工過程中固定晶圓，其表面必須穩定，以確保晶圓不會受損。花崗岩是製作這種工作台的理想材料，因為它具有平整、無孔的表面，能夠提供高穩定性和高精度。此外，花崗岩的熱膨脹係數低，使其能夠抵抗可能導致晶圓尺寸變化的溫度變化。
2. 氣浮平台
氣浮平台用於在製造過程的各個階段輸送晶圓。該平台經過精心設計，可實現無摩擦運動，因此需要極高的精度和穩定性。花崗岩因其堅硬的質地和優異的抗變形和抗磨損性能，被廣泛應用於此領域。
3. 直線運動導軌
直線導軌用於引導氣浮平台，其定位必須非常精確，以最大程度地減少誤差。該導軌採用花崗岩製造，因為花崗岩具有優異的機械穩定性和強度。此外，花崗岩還具有耐腐蝕性，從而確保了導軌系統的使用壽命。
4. 計量設備
計量設備用於在製造過程中測量晶圓的尺寸和特性。花崗岩是製造此類設備的理想材料，因為它具有高剛性、低膨脹係數和極小的負載變形。此外，花崗岩的熱穩定性確保了計量設備能夠長期保持穩定和精確。
總之，半導體產業對精度要求極高，而花崗岩材料在製造過程中已被證明具有極高的可靠性和穩定性。由於晶圓傳輸系統中的許多關鍵零件都需要高穩定性、高精度和低熱膨脹係數，工程師紛紛採用花崗岩材料來滿足這些關鍵要求。
發佈時間：2024年3月19日