晶圓傳送系統的哪些部分使用花崗岩材料？

花崗岩材料因其高穩定性、低熱膨脹和高耐腐蝕性等優異特性，廣泛應用於半導體產業。這些特性使花崗岩成為製造晶圓傳送系統中高精度組件的理想材料。

在半導體製造過程中，晶圓傳送系統在晶圓的製造流程各階段的傳輸過程中扮演著至關重要的角色。精密度和準確度是這些系統的基本要求，因為即使是微小的偏差也可能危及整個製程。因此，晶圓傳送系統中的組件必須採用高品質材料製成，而花崗岩正好符合這些標準。

晶圓傳送系統的一些部件由花崗岩材料製成，包括：

1. 真空吸盤台

真空吸盤台用於在製程過程中固定晶圓，其表面必須穩定，以確保晶圓不受損壞。花崗岩是製作真空吸盤台的理想材料，因為它表面平整、無孔，能夠提供高穩定性和高精度。此外，花崗岩的熱膨脹係數較低，能夠耐受可能導致晶圓尺寸變化的溫度變化。

2. 空氣軸承級

空氣軸承台用於在製造流程的各個階段運送晶圓。該台的設計旨在實現無摩擦運動，從而需要高精度和穩定性。本應用中使用的花崗岩質地堅硬，不易變形和磨損。

3.直線運動導軌

直線運動導軌用於引導空氣軸承平台，必須精確定位以最大程度地減少誤差。該導軌採用花崗岩製造，因為它具有出色的機械穩定性和強度。這種材料還具有耐腐蝕性，確保了導軌系統的使用壽命。

4.計量設備

計量設備用於在製造過程中測量晶圓的尺寸和特性。花崗岩是製造此類設備的理想材料，因為它具有高剛度、低膨脹率以及在負載下極小的變形。此外，花崗岩的熱穩定性可確保計量設備長期保持穩定和精確。

總而言之，半導體產業依賴精密度和準確度，而花崗岩材料已被證明在製造過程中具有高度的可靠性和穩定性。由於晶圓傳送系統中的許多關鍵部件需要高穩定性、高精度和低熱膨脹，工程師已轉向使用花崗岩材料來滿足這些關鍵要求。