Granite 是否是無可爭議的非晶矽陣列偵測精度冠軍？

全球對更大、更高品質平板顯示器的需求推動著製造技術的持續創新。非晶矽 (a-Si) 顯示器的大規模生產是該產業的核心。儘管 a-Si 製造技術已經成熟，但良率仍然是一項高風險的工作，對用於驗證陣列完整性的檢測設備提出了極高的要求。對於負責確保大面積玻璃基板上每個像素完美運作的設備而言，基礎至關重要。這正是可靠性和穩定性至關重要的地方。花崗岩機底座對於平面顯示器而言，非晶矽陣列檢測就顯得格外重要。

現代平板顯示器非晶矽陣列檢測設備依靠複雜的光學和電子系統來掃描大面積區域並檢測微觀缺陷。這些檢測工具所需的定位精度通常達到亞微米等級。為了實現這一點，整個檢測裝置必須建構在一個完全不受熱膨脹和振動等常見精度影響因素影響的平台上。

消除熱漂移以實現穩定掃描

在製造環境中，即使是高度控制的無塵室也會經歷輕微的溫度波動。傳統的金屬材料對這些變化反應顯著，會發生膨脹或收縮，這個過程稱為熱漂移。這種漂移會導致偵測感測器和顯示面板的相對位置在掃描週期內發生輕微偏移，造成幾何誤差、讀數不準確，最終導致缺陷分類錯誤。錯誤的讀數可能導致代價高昂的返工，甚至報廢一個原本完整的面板。

解決方案在於天然花崗岩固有的材料特性。採用精密花崗岩進行平板顯示器非晶矽陣列檢測，可提供熱膨脹係數 (CTE) 極低的基座—遠優於鋼或鋁。這種熱慣性確保檢測設備的關鍵幾何形狀在長時間運行和輕微溫度變化下保持尺寸穩定。透過最大限度地減少熱漂移，花崗岩確保了檢測過程的一致性、可重複性和高度可靠性，從而直接轉化為更高的製造良率。

靜音穩定器：抑制微振動

除了熱效應之外，檢測設備的動態穩定性也至關重要。靈敏的掃描機構——利用高速直線馬達和氣浮軸承在大型玻璃基板上移動——會產生內部機械噪音。此外，來自設施暖通空調系統、附近重型機械甚至人流的外部振動也會透過地板傳遞，幹擾偵測過程。

花崗岩具有極高的內部阻尼能力。這種快速吸收和耗散機械能的能力，使得用於平板顯示器非晶矽陣列檢測的花崗岩機座成為理想的隔振器。與金屬不同，花崗岩不會產生共振或傳遞振動，其緻密的晶體結構能迅速將動能轉化為可忽略不計的熱能，從而有效地打造出一個超靜音、穩定的平台。這對於需要瞬間靜止以捕捉陣列複雜特徵清晰、精確影像的高解析度視覺系統至關重要。

卓越的工程始於自然基礎

這些底座選用的花崗岩並非普通的粗糙石料，而是經過精心加工和拋光的優質材料，通常為黑色花崗岩，其平整度和直線度均達到天文級標準。經過切割、研磨和拋光後，這些底座的表面公差可達百萬分之一英寸，形成真正的計量參考平面。

正是由於採用精密花崗岩來確保穩定性和精確性，平板顯示器非晶矽陣列檢測設備的製造商才能不斷突破解析度和吞吐量的極限。透過整合這種天然穩定耐用的材料，工程師確保機器的性能僅受限於其運動部件和光學元件的質量，而非其基本結構的穩定性。在競爭激烈的顯示器製造領域，選擇花崗岩底座是一項戰略決策，它能夠保證長期的精度和卓越的運作性能。