直線馬達+花崗岩底座：新一代晶圓傳送系統的核心秘密。

在半導體製造的精密鏈條中，晶圓傳送系統如同晶片生產線的“生命線”，其穩定性和精準度直接決定了晶片的良率。新一代晶圓傳送系統革命性地將直線馬達與花崗岩底座結合，而花崗岩材質的獨特優勢正是解鎖高性能傳輸的核心密碼。

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花崗岩底座：為穩定傳輸打造“堅如磐石的基礎”
花崗岩歷經億萬年的地質侵蝕，內部礦物結晶緻密均勻，此天然特性使其成為晶圓傳送系統的理想基材。在半導體潔淨室的複雜環境下，花崗岩憑藉其超低的熱膨脹係數（僅為5-7×10⁻⁶/℃），能夠抵禦設備運行產生的熱量以及環境溫度變化的影響，確保底座尺寸的穩定性，避免因熱變形而導致的傳輸路徑偏差。其優異的減震性能，能夠快速吸收直線馬達啟動、停止、加速過程中產生的機械振動，以及車間其他設備運作所帶來的外界幹擾，為晶圓傳送提供「零晃動」的穩定平台。
同時，花崗岩的化學穩定性確保其在酸鹼試劑揮發性強、潔淨度要求高的半導體車間不會腐蝕生鏽，避免材料老化或污染物吸附對傳輸精度的影響。光滑緻密的表面特性，更能有效減少粉塵附著，滿足無塵室嚴苛的無塵標準，從根源杜絕晶圓污染的風險。
直線馬達與花崗岩的「黃金搭檔」效應
直線馬達憑藉其無機械傳動間隙、高加速度、高反應速度等特點，賦予晶圓傳輸「快、準、穩」的優勢。花崗岩底座為其提供了堅實可靠的支撐平台，兩者協同作用，實現了性能的飛躍。當直線馬達驅動晶圓載體在花崗岩底座軌道上運作時，底座的高剛性和穩定性確保了馬達驅動力的高效傳遞，避免了底座變形造成的力損失或傳輸滯後。
在奈米級精度需求的驅動下，直線馬達能夠實現亞微米級的位移控制。花崗岩基座的高精度加工特性（平面度誤差控制在±1μm以內）與直線馬達的精確控製完美契合，共同確保晶圓傳輸過程中的定位誤差小於±5μm。無論是在各種製程設備間高速穿梭，或是晶圓交接時的精準停放，直線馬達與花崗岩基座的結合都能確保晶圓傳輸的「零偏差、零抖動」。
產業實務驗證：效率與良率雙重提升
某全球領先的半導體企業在晶圓傳送系統升級後，採用了直線馬達+花崗岩底座的方案，晶圓傳送效率提升40%，傳送過程中碰撞、偏移等故障發生率降低85%，晶片整體良率提升6%。這資料的背後，是花崗岩底座對傳送穩定性的保障，以及直線馬達高速精準的協同效應，顯著降低了晶圓傳送過程中的損耗和誤差。
從材料特性到精密製造，從性能優勢到實務驗證，直線馬達與花崗岩底座的結合重新定義了晶圓傳送系統的標準。未來在半導體技術邁向3nm、2nm製程邁進的過程中，花崗岩材料必將憑藉其不可取代的優勢，繼續為產業發展注入強勁動力。