用於 AR/VR 應用的精密玻璃晶片：您需要了解的技術規格

擴增實境 (AR) 和虛擬實境 (VR) 技術的快速發展對光學元件提出了前所未有的要求。這些先進系統的核心在於一個關鍵元件：精密玻璃晶片。隨著設備變得更薄、更輕、更具沉浸感，支撐它們的玻璃基板的規格要求也變得越來越嚴格。

基材和折射率

• 高折射率玻璃（n > 1.8）：對於基於波導的擴增實境顯示器，光需要高效耦合並透過全內反射進行引導。高折射率玻璃可以實現更小、更輕的光學引擎和更寬的視野角（FOV）。
• 熔融石英：是紫外線雷射加工和對熱穩定性要求極高的應用的理想選擇。其低熱膨脹係數確保即使在高功率照射下，光學性能也能保持一致。
• 熱匹配：在晶圓級光學元件中，玻璃基板通常需要與矽感測器或顯示器鍵合。選擇熱膨脹係數與矽（約 2.6 × 10⁻⁶/K）相匹配的玻璃成分至關重要，這可以防止在溫度循環過程中出現翹曲或分層。

尺寸公差和表面質量

• 直徑和厚度：常見規格包括 200 毫米和 300 毫米晶圓，厚度範圍從 0.3 毫米到 5 毫米。
• 厚度公差：我們保持嚴格的公差，通常為±5µm，以確保晶圓的均勻性。
• 總厚度變化 (TTV)：TTV <5µm 對於保持聚焦和防止堆疊光學組件中的光學像差至關重要。
• 平整度：為防止影像失真，彎曲和變形必須分別控制在<20µm和<5µm以內。

表面光潔度和粗糙度

• 粗糙度 (Ra)：對於高性能 AR/VR 光學元件，我們實現了 Ra < 1nm 的表面粗糙度值。這種近乎原子級的平滑度最大限度地減少了光散射和霧霾，從而確保了高對比度和清晰度。
• 表面品質：我們遵循 MIL-PRF-13830B 標準，通常供應的玻璃刮痕/凹坑強度等級達到 40-20 或更高。在光刻或雷射光學等對缺陷要求極高的應用中，即使是表面以下的損傷也必須透過先進的拋光技術消除。

先進加工和塗層

• 雙面拋光 (DSP)：對於需要雙面光學清晰度的應用至關重要，例如雷射雷達系統的分光鏡或蓋玻片。
• 抗反射（AR）塗層：為了最大限度地提高透光率（通常>98%），會沉積精密抗反射塗層。分光光度法用於驗證塗層在可見光譜（400-700nm）或特定雷射波長（例如，用於3D感測的940nm）下的性能。
• 雷射切割和成型：對於客製化幾何形狀或非圓形光學元件，雷射切割可提供乾淨的邊緣，並將微裂紋降至最低，從而減少了對大量邊緣研磨的需求。

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