此定位平台為高精度、花崗岩底座、氣浮定位平台，適用於高階定位應用。它由無鐵芯、無齒槽的三相無刷直線馬達驅動，並由5個懸浮在花崗岩底座上的磁預緊平面氣浮軸承導向。
由於無鐵芯線圈組件運作平穩、無齒槽效應，因此被用作平台的驅動機構。線圈和工作台組件的輕量化設計使其能夠實現輕負載的高加速度。
用於支撐和引導有效載荷的氣浮軸承懸浮在氣墊之上。這確保了系統中不存在易損件。與機械軸承（例如滾珠和滾柱）在高加速度下會滑動而非滾動不同，氣浮軸承不受加速度限制。
舞台花崗岩底座的剛性橫截面確保了有效載荷能夠在平坦、筆直、穩定的平台上運行，無需任何特殊的安裝考慮。
可在舞台上加上伸縮比為 12:1 的風箱（折疊式導氣罩）。
移動式三相線圈組件、編碼器和限位開關的電源透過屏蔽扁平帶狀電纜傳輸。特別注意將電源線和訊號線彼此隔離，以減少雜訊對系統的影響。線圈組件的電源線和一條用於客戶有效載荷電源的空置電纜安裝在舞台的一側，編碼器信號線、限位開關信號線以及另一條用於客戶有效載荷信號的空置信號線則安裝在舞台的另一側。所有連接器均為標準配備。
定位平台採用了最新的線性運動技術：
電機：非接觸式三相無刷直線電機，無鐵芯，採用霍爾效應進行正弦或梯形換向。封裝式線圈組件運動，多極永磁體組件保持靜止。輕量化的線圈組件可實現輕型有效載荷更高的加速度。
軸承：採用磁預緊式多孔碳或陶瓷氣浮軸承實現直線導向；頂部3個，側面2個。軸承安裝在球面上。必須向ABS平台移動工作台供應清潔、乾燥的過濾空氣。
編碼器：非接觸式玻璃或金屬光柵尺光學線性編碼器，帶有用於歸位的參考標記。提供多個參考標記，沿著光柵尺長度方向每隔 50 毫米分佈一個。典型的編碼器輸出為 A 和 B 方波訊號，但也可選配正弦波輸出。
限位開關：行程兩端均設有行程限位開關。這些開關可以是高電平有效（5V 至 24V）或低電平有效。它們可用於關閉擴大機或向控制器發出錯誤訊號。限位開關通常是編碼器的組成部分，但如有需要，也可以單獨安裝。
電纜載體：電纜導引採用扁平屏蔽帶狀電纜。另提供兩條未使用的屏蔽扁平帶狀電纜供客戶在舞台上使用。舞台和客戶有效載荷的兩條電源線安裝在舞台的一側，編碼器、限位開關和客戶有效載荷的兩條信號線則分別安裝在舞台的另一側。
硬限位：舞台兩端設有硬限位裝置，以防止伺服系統故障時舞台過度移動而造成損壞。
優勢：
優異的平整度和直線度規格
最低速度波紋
無磨損部件
用風箱封閉
應用領域：
揀選和放置
視覺檢查
零件轉移
潔淨室
發佈時間：2021年12月29日