光學檢測花崗岩平台的特殊要求

為高級應用選擇花崗岩精密平台絕非易事,而當應用涉及光學檢測時——例如高倍顯微鏡、自動光學檢測 (AOI) 或精密雷射測量——其要求遠超普通工業用途。像 ZHHIMG® 這樣的製造商深知,平臺本身已成為光學系統不可或缺的一部分,因此必須具備最大限度降低雜訊和最大限度提高測量精度的特性。

光子學的熱學和振動學需求

對於大多數工業機械底座而言,主要考慮因素是承載能力和基本平整度(通常以微米為單位)。然而,光學系統——其對微小的位置偏移極其敏感——需要亞微米或奈米級的精度。這就要求使用更高等級的花崗岩平台,並對其進行專門設計,以應對兩大關鍵環境因素:熱漂移和振動。

光學檢測通常需要較長的掃描時間或曝光時間。在此期間,平台尺寸因溫度波動而發生的任何變化(稱為熱漂移)都會直接引入測量誤差。因此,高密度黑色花崗岩,例如專有的 ZHHIMG® 黑色花崗岩(密度約為 3100 kg/m³),就顯得至關重要。其高密度和低熱膨脹係數確保即使在溫度波動較小的環境中,基座也能保持尺寸穩定。普通花崗岩基座無法提供如此高的熱慣性,因此不適用於成像或乾涉測量裝置。

固有阻尼和超平坦性的必要性

振動是另一項重大挑戰。光學系統依賴感測器(相機/探測器)與樣品之間極其精確的距離。外部振動(來自工廠機械、暖通空調系統,甚至遠處的交通)會導致相對運動,使影像模糊或計量資料失效。雖然空氣隔離系統可以濾除低頻噪聲,但平臺本身必須具備很高的固有材料阻尼性能。頂級高密度花崗岩的晶體結構在耗散殘餘高頻振動方面遠勝於金屬基座或低等級石材複合材料,為光學系統打造真正安靜的機械平台。

此外,對平面度和平行度的要求也顯著提高。對於標準工具,0 級或 00 級平面度可能就足夠了。但對於涉及自動對焦和拼接演算法的光學檢測,平台通常必須達到奈米級的平面度。這種幾何精度只有透過使用精密研磨機的專用製造工藝,並隨後使用雷尼紹雷射干涉儀等先進工具進行驗證,且符合全球公認的標準(例如 DIN 876、ASME),並由認證計量專家進行驗證,才能實現。

計量學用花崗岩

製造誠信:值得信賴的標誌

除了材料科學之外,基座的結構完整性——包括安裝嵌件、螺紋孔和整合氣浮軸承座的精確位置和對準——必須達到航空航天等級的公差。對於為全球光學原始設備製造商 (OEM) 提供產品的公司而言,第三方認證是流程不可或缺的證明。擁有 ISO 9001、ISO 14001 和 CE 等全面認證(如 ZHHIMG® 所擁有的)可以確保採購經理和設計工程師確信,從原材料到最終檢驗的整個製造流程均符合全球標準且可重複。這為用於平板顯示器檢測或半導體光刻等高價值應用的設備提供了低風險和高可靠性。

總之,選擇用於光學檢測的花崗岩精密平台並非僅僅是選擇一塊石頭;而是投資於一個基礎組件,該組件能夠切實提升光學測量系統的穩定性、熱控制和最終精度。這種嚴苛的環境需要擁有卓越材料、成熟技術實力和全球信譽的合作夥伴。


發佈時間:2025年10月21日