超精密運動模組：花崗岩精密底座VS鑄造底座。

在超精密運動模組應用中，底座作為關鍵支撐部件，對模組性能起著決定性的作用。花崗岩精密底座與鑄造底座各有特點，兩者之間的對比也十分明顯。
一、穩定性
花崗岩經過億萬年的地質變遷，內部結構緻密均勻，主要由石英、長石等礦物緊密結合而成。這種獨特的結構賦予了它優異的穩定性，能有效抵抗外界幹擾。在電子晶片製造車間，外圍設備運轉頻繁，花崗岩基座可將傳遞給氣浮的超精密運動模組的振動幅度降低80%以上，確保模組運動平穩，為晶片製造的光刻、刻蝕等高精度製程提供堅實的保障。

鑄造底座雖然能在一定程度上緩衝振動，但在鑄造過程中可能會存在砂孔、氣孔等缺陷，降低結構的均勻性和穩定性。面對高頻高強度的振動，其減振能力不如花崗岩底座，導致氣浮超精密運動模組的運動穩定性差，影響設備的加工和偵測精度。
二、準確度保持
花崗岩熱膨脹係數很低，一般在5-7×10⁻⁶/℃，在溫度波動環境下，尺寸變化極小。在天文學領域，用於望遠鏡鏡頭微調的超精密運動模組與花崗岩底座搭配，即使晝夜溫差較大，也能保證鏡頭的定位精度保持在亞微米級，幫助天文學家清晰地觀測遙遠的天體。
鑄造底座常用的金屬材料，如鑄鐵，熱膨脹係數相對較高，約10-20×10⁻⁶/℃。當溫度變化時，尺寸變化明顯，容易造成氣浮超精密運動模組的熱變形，導致運動精度下降。在對溫度敏感的光學鏡頭磨削加工中，鑄造底座在溫度影響下變形，可能使鏡頭磨削精度偏差超出允許範圍，影響鏡頭品質。
三、耐磨性
花崗岩硬度高，莫氏硬度可達6-7級，耐磨性強。在材料科學實驗室中，常使用的氣浮超精密運動模組，花崗岩底座能有效抵抗氣浮滑塊的摩擦，與一般鑄造底座相比，可延長模組的維護週期50%以上，降低設備維護成本，確保科研工作的連續性。
如果鑄造底座採用普通金屬材料，硬度相對較低，在氣浮滑塊長期往復摩擦下，表面容易磨損，影響氣浮超精密運動模組的運動精度和平穩性，需要更頻繁地維護和更換，增加使用成本和停機時間。
四、製造成本及加工難度
花崗岩原料採集成本高，開採、運輸複雜，加工需專業設備與技術，如高精度切割、打磨、拋光等，製造成本高。且由於其硬度高、脆性大，加工難度高，易出現崩邊、裂紋等缺陷，廢品率高。
鑄造基座原料來源廣泛，成本相對較低，鑄造製程成熟，加工難度較小，可透過模具量產，生產效率高，成本可控制。但要達到與花崗岩基座同等的高精度和穩定性，其鑄造工藝及後製要求極為嚴格，成本也會大幅上升。
綜上所述，花崗岩精密底座在要求高精度、高穩定性、高耐磨性的超精密運動模組應用場景中優勢顯著。鑄造底座在成本、加工便利性方面具有一定優勢，適用於對精度要求相對較低、追求成本效益的場合。