XYT花崗岩底座精密主動隔振運動平台常見的應用場景有哪些？

半導體製造
光刻：光刻是半導體製造的關鍵工序，需要將複雜的電路圖案精確地轉移到晶圓上。位於花崗岩基座上的XYT精密主動隔振運動平台，可為光刻設備提供穩定的支撐和精準的定位，確保曝光過程中晶圓檯面的位置精度達到奈米級，有效降低因振動和熱變形引起的圖案偏差，提高晶片的製造精度和良率。

晶圓檢測：晶圓製造完成後，需要進行高精度的檢測，以發現微小的缺陷和瑕疵。 XYT精密主動隔振運動平台可搭載電子束顯微鏡、原子力顯微鏡等檢測設備，在檢測過程中保持運動穩定、定位準確，使檢測設備能精確掃描晶圓表面，提高檢測解析度與精度。
光學儀器製造
鏡片研磨拋光：在光學鏡片的製造過程中，需要對鏡片進行高精度的研磨拋光，以獲得良好的光學性能。 XYT精密主動隔振運動平台可精確控制研磨拋光工具的運動軌跡，同時花崗岩底座可隔離外界振動，降低振動對加工精度的影響，確保鏡片表面的平整度和光潔度達到設計需求。
光學系統組裝：在光學系統的組裝過程中，各種光學元件需要精確地安裝在特定的位置，以確保光線的準確傳播和成像品質。 XYT精密主動隔振運動平台採用花崗岩底座，可為光學元件的安裝和調整提供穩定的平台，並透過精確的運動控制實現光學元件的高精度調準與組裝。
航太

慣性導航系統測試：慣性導航系統是航空航太領域重要的導航設備，其精度直接影響飛行器的導航精度和飛行安全。在慣性導航系統測試過程中，需要採用高精度轉台模擬飛行器的各種運動狀態。 XYT精密主動隔振運動平台可作為轉台的支撐平台，透過精確的運動控制和良好的隔振性能，為慣性導航系統試驗提供穩定、準確的運動環境，提高試驗精度和可靠性。
航空發動機葉片加工：航空發動機葉片的加工精度對發動機的性能和效率有著重要的影響。 XYT精密主動隔振運動平台可應用於五軸聯動加工中心等葉片的加工過程中，透過精確控製刀具的運動軌跡，維持穩定的加工環境，實現葉片的高精度加工，確保葉片型面精度和表面品質符合設計要求。
科學研究測試
奈米科學研究：在奈米科學研究中，需要對奈米尺度的物體進行操作和觀察，例如奈米材料的製備、奈米裝置的組裝等。 XYT精密主動隔振運動平台的花崗岩基座可提供亞微米甚至奈米級的定位精度，為奈米科學研究提供穩定、精準的實驗平台，幫助科學家更好地探索奈米世界的奧秘。
生物醫學成像：在生物醫學領域，例如螢光顯微鏡、共聚焦顯微鏡等成像設備，為了獲得高解析度的生物影像，需要對樣本進行精確定位和穩定成像。 XYT精密主動隔振運動平台可以承載生物樣本，透過精確的運動控制和良好的隔振性能，減少樣本的振動和漂移，提高成像品質和精度，幫助生物醫學研究人員對細胞、組織等微觀結構進行深入研究。