花崗岩基座因其優異的減震性能、熱穩定性和較低的熱膨脹係數而常用於半導體設備。然而，與其他材料一樣，花崗岩基座也會出現一些缺陷，影響半導體設備的性能。本文將重點放在半導體設備中花崗岩基座的一些常見缺陷，並提供相應的解決方案。
故障＃1：表面變形
表面變形是半導體設備中花崗岩基座最常見的缺陷。當花崗岩基座受到溫度變化或重載時，可能會出現表面變形，例如翹曲、扭曲和凸起。這些變形會影響半導體設備的對準和精確度。
解決方案：表面校正
表面修正有助於緩解花崗岩基座的表面變形。修正過程包括重新研磨花崗岩基座表面，以恢復其平整度和光滑度。應特別注意選擇合適的研磨工具和磨料，以確保保持精確度。
缺陷＃2：裂縫
由於熱循環、重載和加工誤差，花崗岩基座可能會出現裂縫。這些裂縫會導致結構不穩定，並嚴重影響半導體設備的精確度。
解決方案：填充和修復
填補和修復裂縫有助於恢復花崗岩基座的穩定性和精確度。修復過程通常包括用環氧樹脂填充裂縫，然後固化以恢復花崗岩表面的強度。之後，重新打磨黏合的表面，使其恢復平整度和光滑度。
故障＃3：分層
分層是指花崗岩基層彼此分離，形成可見的縫隙、氣穴和表面不平整。這可能是由於黏合不當、熱循環和加工誤差造成的。
解決方案：黏合和修復
黏合和修復過程涉及使用環氧樹脂或聚合物樹脂粘合脫層花崗岩部分。黏合花崗岩部分後，需要重新打磨修復表面，以恢復平整度和光滑度。必須檢查黏合後的花崗岩是否有任何縫隙和氣穴，以確保花崗岩基座完全恢復其原始結構強度。
故障＃4：變色和染色
有時，花崗岩基座會出現變色和染色問題，例如棕色和黃色斑點、白華和深色污漬。這可能是由於化學品洩漏和清潔不當造成的。
解決方案：清潔和維護
定期正確清潔花崗岩基座可防止變色和染色。建議使用中性或溫和pH值的清潔劑。清潔過程應遵循製造商的說明，以免損壞花崗岩表面。如有頑固污漬，可使用專門的花崗岩清潔劑。
總而言之，花崗岩基座是一種耐用可靠的材料，廣泛應用於半導體設備。然而，隨著時間的推移，由於溫度變化、重載和加工誤差，花崗岩基座可能會出現故障。透過適當的維護、清潔和修理，花崗岩基座可以恢復原狀，確保半導體設備的最佳性能。
發佈時間：2024年3月25日