用於半導體製造流程的花崗岩零件是什麼？

花崗岩是一種常見材料，因其耐用性、強度和抗磨損能力而被廣泛應用於各行各業。花崗岩的應用之一是半導體製造工藝，它被用作生產微晶片、積體電路和其他電子元件的基板。

光刻技術是半導體製造的關鍵組成部分之一，它利用光將圖案轉移到矽晶片上。在此過程中，花崗岩板被用作基底，用於塗覆用於轉移圖案的薄膜。花崗岩因其天然的平整性而成為光刻工藝的首選材料，這確保了在其表面塗覆的薄膜光滑均勻。平滑均勻地塗覆薄膜對於確保晶圓上圖案的精確性和準確性至關重要。

花崗岩也用於製造無塵室工作台和設備。在半導體生產過程中，清潔至關重要，任何細小的顆粒或灰塵都可能損壞組件。因此，潔淨室使用的材料需要不脫落、不反應且易於清潔。花崗岩滿足這些要求，使其成為生產無塵室工作台和其他設備的理想材料。

花崗岩在半導體製造的另一個用途是建造真空系統。真空系統在製造過程中至關重要，因為它用於創造低壓環境，確保生產的半導體元件具有高品質。花崗岩的高強度和低熱膨脹係數使其成為真空室建造的可靠材料。

總而言之，花崗岩因其卓越的性能（例如耐久性、強度和熱穩定性）而成為半導體製造的寶貴材料。花崗岩的平整度和天然潔淨度使其非常適合用於光刻、無塵室工作台和真空系統。花崗岩在半導體行業的應用證明了其多功能性和對各種應用的適應性，證明了它不僅是一種裝飾材料，也是各種工業流程中必不可少的組成部分。