在晶圓加工設備中，花崗岩部件因其優異的穩定性、高精度和抗振性，常被用作機器的基座。然而，為了確保這些花崗岩部件發揮最佳性能和使用壽命，保持其清潔至關重要。以下是一些可用於清潔晶圓加工設備中花崗岩部件的最佳實踐：
1. 使用合適的清潔劑
務必使用專為花崗岩表面設計的清潔劑。避免使用刺激性化學物質、研磨性清潔劑或含有漂白劑或氨水的清潔劑。而應使用溫和的清潔劑或專用的石材清潔噴霧劑，這些產品性質溫和，不會損壞花崗岩表面。
2. 定期擦拭
定期清潔是保持花崗岩部件良好狀態的關鍵。每天用乾淨的濕布擦拭表面，去除積聚的灰塵、污垢或殘留物。此外，擦拭花崗岩零件還有助於防止污漬或變色。
3. 使用軟毛刷
對於嵌在花崗岩構件中的頑固污垢，請使用軟毛刷輕輕刷洗。務必刷洗整個區域，包括污垢積聚的縫隙和角落。最後，用吸塵器或軟布清除已鬆脫的污垢。
4. 避免接觸酸性物質
酸性物質，例如醋或檸檬汁，會損壞並腐蝕花崗岩表面。因此，請避免使用這些物質清潔花崗岩部件。同樣，也請避免使用碳酸飲料或酒精飲料，因為溢出的飲料會污染花崗岩表面。
5. 保護表面
為了幫助花崗岩部件保持更長時間的表面質量，可以考慮使用保護罩，例如塑膠薄膜或防水布，以保持該區域無灰塵或碎屑。
總之，清潔晶圓加工設備中的花崗岩部件對於維持設備的整體品質和耐用性至關重要。透過使用合適的清潔劑、定期擦拭、定期使用軟刷清潔、避免使用酸性物質並保護表面，可以確保花崗岩零件保持良好狀態，有助於延長其使用壽命並從長遠來看降低維護成本。
發佈時間：2024年1月2日