半導體設備中的花崗岩底座需要哪些特殊的表面處理？

花崗岩是半導體產業常用的材料，尤其適用於製造用於生產半導體晶片的敏感設備。花崗岩以其卓越的特性而聞名，例如高穩定性、高剛性和低熱膨脹係數。然而，它也需要特殊的表面處理才能適用於製造半導體設備。

花崗岩表面處理工藝包括拋光和塗層。首先，花崗岩基座經過拋光處理，確保表面光滑，無任何粗糙或孔隙。此製程有助於防止顆粒的產生，避免污染敏感的電腦晶片。拋光完成後，花崗岩表面會塗上一層耐化學腐蝕的材料。

塗層製程對於確保污染物不會從花崗岩表面轉移到正在生產的碎片至關重要。該工藝包括在花崗岩拋光錶面上噴塗一層保護層。塗層在花崗岩表面與任何可能接觸到的化學物質或其他污染物之間形成一道屏障。

花崗岩表面處理的另一個關鍵方面是定期維護。花崗岩基座需要定期清潔，以防止灰塵、污垢或其他污染物的積聚。如果不清潔，污染物可能會刮傷表面，更糟的是，最終會附著在半導體設備上，影響其性能。

總而言之，花崗岩是半導體產業，尤其是在半導體設備製造中必不可少的材料。然而，它需要特殊的表面處理，包括拋光和塗層，以及定期維護以防止污染。如果處理得當，花崗岩可以為生產無污染、無缺陷的高品質半導體晶片提供理想的基底。