為什麼晶圓加工設備用花崗岩機座選擇花崗岩而不是金屬

花崗岩因其獨特的性能，例如高剛性、低熱膨脹和卓越的減震特性，是製造機器底座（特別適用於晶圓加工設備）的理想材料。雖然傳統上金屬一直被用作機器底座的材料，但花崗岩由於以下原因而成為更佳的替代品：

高剛度：機器底座需要堅固穩定，以最大限度地減少振動並在晶圓加工過程中保持精度。花崗岩具有較高的剛度重量比，使其具有極高的剛性和穩定性，從而減少振動並確保出色的加工精度。

低熱膨脹係數：溫度變化會導致金屬膨脹或收縮，導致工具機底座尺寸變化，進而影響加工精度。而花崗岩的熱膨脹係數較低，這意味著它不會因溫度變化而發生太大的膨脹或收縮，從而確保加工的穩定性和精度。

卓越的減震性能：振動是工具機的常見問題，它會導致尺寸誤差、表面光潔度問題，甚至機器部件的過早磨損。花崗岩以其卓越的減震性能而聞名，這意味著它能夠吸收和抑制振動，確保加工過程平穩、精確。

耐化學性：晶圓加工過程中會使用各種化學品，長期暴露於這些化學品會導致機器底座腐蝕和性能下降。花崗岩具有極強的耐化學腐蝕性，使其成為晶圓加工設備中機器底座安全耐用的材料選擇。

維護成本低：花崗岩維護成本低，易於清潔，不會像金屬那樣腐蝕或生鏽。這意味著維護成本更低，設備停機時間更短。

整體而言，選擇花崗岩而非金屬作為晶圓加工設備的機器底座具有許多優勢，包括高剛性、低熱膨脹、卓越的減震性能、優異的耐化學性和低維護成本。這些優勢確保機器底座保持穩定、精確和耐用，從而實現高品質的晶圓加工並提高生產效率。