為什麼晶圓加工產品用花崗岩機座選擇花崗岩而不是金屬

在晶圓加工產品的生產過程中，機器底座與其他零件一樣重要。堅固且穩定的底座對於確保加工過程的準確性以及防止敏感部件損壞至關重要。雖然金屬是機器底座的常見選擇，但花崗岩因其獨特的性能而日益受到青睞。以下是一些花崗岩比金屬更適合用作花崗岩機器底座的原因。

1.穩定性和剛度

花崗岩的密度和剛度遠高於大多數金屬，這意味著它具有更好的抗振動和抗移動能力。這在晶圓加工應用中尤其重要，因為即使是微小的振動或移動也可能導致成品不準確或缺陷。花崗岩的穩定性和剛度使其成為要求極高精度的機器底座的理想材料。

2. 耐溫度變化

花崗岩相較於金屬的主要優勢之一是其能夠承受溫度變化。這在晶圓加工過程中至關重要，因為晶圓加工過程中的溫度可能會顯著波動。與會隨溫度變化而膨脹或收縮的金屬不同，花崗岩能夠保持其形狀和尺寸，從而確保可靠且穩定的性能。

3. 耐用性和長壽命

花崗岩是目前最堅硬的材料之一，具有極強的耐磨性、抗撕裂性和抗損傷性。因此，它是製造需要承受重載或頻繁使用的機器底座的理想材料。即使使用多年，花崗岩機器底座仍能保持其穩定性、剛性和精度，提供一致、可靠的性能。

4.非磁性

與金屬不同，花崗岩不具有磁性，這在晶圓加工應用中至關重要，因為磁幹擾可能會造成嚴重損壞。花崗岩工具機底座可確保加工環境中不存在磁場，進而降低幹擾風險並提高加工過程的精確度。

5.易於維護和清潔

花崗岩易於清潔和維護，這對於清潔度至關重要的晶圓加工應用至關重要。與金屬不同，花崗岩不會腐蝕、生鏽或失去光澤，這意味著它幾乎不需要維護和清潔。定期清潔和維護將確保機器保持最佳性能，並在較長的使用壽命內提供精確可靠的加工。

總而言之，雖然金屬一直是機器底座的傳統選擇，但花崗岩因其獨特的性能正日益成為備受歡迎的替代品。相較於金屬底座，選擇花崗岩機器底座具有許多優勢，包括穩定性、剛性、耐溫度變化性、耐用性、非磁性以及易於維護。如果您的晶圓加工應用注重精度、可靠性和使用壽命，那麼花崗岩絕對值得考慮。