為什麼晶圓加工設備產品要選擇花崗岩而不是金屬作為花崗岩床檯面？

在晶圓加工設備中，花崗岩是工具機床身的熱門選擇。這是因為花崗岩相比金屬具有許多優勢。本文將探討為何應選擇花崗岩而非金屬作為工具機床身材料。

1. 穩定性和剛度

花崗岩以其穩定性和剛性而聞名。它是一種均質的晶體結構，在不同的溫度條件下不會翹曲或扭曲。這意味著它比金屬穩定得多，金屬會隨著溫度波動而膨脹、收縮甚至變形。花崗岩的這種穩定性和剛性使其成為需要精確定位和測量的工具機工作台的理想材料。

2. 振動阻尼

花崗岩具有優異的減振性能，其吸收衝擊和振動的能力遠勝於金屬。在晶圓加工設備中，精度至關重要，振動會導致誤差和測量不準確。因此，使用花崗岩工具機檯面可以有效降低振動，確保測量結果的準確性和一致性。

3. 熱穩定性

花崗岩的熱膨脹係數很低，這意味著它在溫度變化時膨脹和收縮的幅度很小。這種熱穩定性對於晶圓加工設備至關重要，因為這類設備需要在高溫下運作。此外，在精密加工中，溫度變化會導致金屬零件變形，進而造成測量誤差，因此花崗岩的熱穩定性也十分重要。

4. 耐久性和耐磨性

花崗岩以其耐久性和耐磨性而聞名。它是一種堅硬緻密的材料，能夠承受惡劣環境而不發生性能退化。相較之下，金屬容易被刮傷、凹陷甚至腐蝕，導致需要維修或更換。從長遠來看，花崗岩的耐久性和耐磨性使其成為工具機工作台的經濟之選。

5. 易於清潔

花崗岩易於清潔和維護。與金屬不同，它不會生鏽或腐蝕，並且耐化學腐蝕和污漬。在晶圓加工設備中，清潔度至關重要，使用花崗岩床台可以減少頻繁清潔和維護的需求。

總之，花崗岩相較於金屬具有諸多優勢，使其成為晶圓加工設備工具機檯面的首選材料。其穩定性、減震性能、熱穩定性、耐久性、耐磨性和易清潔性，使其成為長期使用中經濟高效的工具機檯面選擇。因此，選擇花崗岩而非金屬作為工具機檯面材料，是提高晶圓加工設備品質和效率的積極舉措。