為什麼晶圓加工設備產品的花崗岩床身選擇花崗岩而不是金屬

在晶圓加工設備中，花崗岩是製作床身的熱門材料。這是因為花崗岩相較於金屬具有許多優勢。本文將探討為何選擇花崗岩床身而非金屬床身。

1.穩定性和剛性

花崗岩以其穩定性和剛性而聞名。它具有均質晶體結構，在不同溫度條件下不會彎曲或扭曲。這意味著它比金屬穩定得多，因為金屬會隨著溫度波動而膨脹、收縮甚至變形。花崗岩的這種穩定性和剛性使其成為需要精確定位和精確測量的工具機床身的理想材料。

2.減震

花崗岩具有優異的減震性能，比金屬更能吸收衝擊和振動。在晶圓加工設備中，精度至關重要，振動會導致誤差和測量不準確。因此，使用花崗岩機床床身可以減少振動，確保測量的準確性和一致性。

3.熱穩定性

花崗岩的熱膨脹係數較低，這意味著它在溫度變化時幾乎不會膨脹和收縮。這種熱穩定性對於晶圓加工設備至關重要，因為這些設備必須在高溫下運作。在精密加工中，溫度變化會導致金屬部件變形，從而導致測量不準確，因此熱穩定性也至關重要。

4. 耐用性和耐磨性

花崗岩以其耐用性和抗磨損性而聞名。它是一種堅硬緻密的材料，能夠承受惡劣環境而不會發生降解。相較之下，金屬容易刮傷、凹陷甚至腐蝕，因此需要維修或更換。花崗岩的耐用性和耐磨性使其成為一種經濟實惠的工具機床身材料，從長遠來看非常適用。

5.易於清潔

花崗岩易於清潔和維護。與金屬不同，它不會生鏽或腐蝕，並且耐化學物質和污漬。在晶圓加工設備中，清潔至關重要，使用花崗岩床身可減少頻繁清潔和維護的需求。

總而言之，花崗岩相較於金屬的優勢使其成為晶圓加工設備床身的首選材料。其穩定性、減震性、熱穩定性、耐用性、耐磨性和易清潔性使其成為長期經濟實惠的床身材料。因此，選擇花崗岩而非金屬作為花崗岩床身材料，是提高晶圓加工設備品質和效率的積極措施。