為什麼花崗岩氣浮軸承平台具有卓越的穩定性

在超精密製造和計量領域，穩定性至關重要。無論是半導體設備、精密數控加工或光學檢測系統，即使是微米級的振動也會影響精度。而這正是 Granite 空氣軸承平台的優勢所在，它為高端工業應用提供無與倫比的穩定性和可靠性。

花崗岩在精密舞台中的作用

花崗岩不僅是一種優質材料，更是超精密工程的基石。我們氣浮平台所採用的ZHHIMG®黑色花崗岩具有高密度（約3100 kg/m³）和優異的尺寸穩定性，使其優於鋁、鋼等常用材料，甚至優於一些進口花崗岩。這些物理特性可減少負載下的變形，最大限度地降低熱膨脹，並提供對精密平台至關重要的減振效果。

與金屬不同，花崗岩在受力情況下不易變形或彎曲。其均勻的晶體結構確保了整個平台剛性一致，使精密儀器能夠長期保持對準。此外，花崗岩的天然阻尼特性能夠吸收環境振動，進一步增強平台穩定性。

氣浮軸承：無摩擦精密

在花崗岩底座上整合氣浮軸承，將穩定性提升到了新的高度。氣浮軸承在平台和導軌之間形成一層均勻的薄氣膜，從而實現近乎無摩擦的運動。這消除了傳統機械軸承常見的黏滑效應，並減少了磨損。最終實現了超平穩、無振動的運動，這對於需要奈米級精度的應用至關重要。

安裝在花崗岩底座上的氣浮軸承可充分利用花崗岩天然的平整度和剛性。花崗岩確保氣隙始終保持均勻，防止傾斜或負載分佈不均。正是花崗岩與氣浮軸承技術的這種協同作用，使得ZHHIMG®花崗岩氣浮軸承平台被廣泛認為是超精密設備穩定性的標竿。

熱穩定性和環境優勢

溫度變化會對精密平台產生顯著影響，尤其是在半導體製造廠或光學測量實驗室等高精度環境。花崗岩的低熱膨脹係數可最大限度地減少溫度波動引起的尺寸變化，從而保持平台的平整度和對準精度。結合受控環境車間，這些平台即使在嚴苛的條件下也能提供穩定的性能。

此外，花崗岩優異的耐化學腐蝕、耐磨損和抗疲勞性能確保了其長期可靠性，即使在嚴苛的工業環境中也能如此。與可能需要頻繁維護的金屬平台不同，花崗岩氣浮平台在多年連續運作後仍能保持其精度。

跨產業應用

花崗岩獨特的物理特性與氣浮技術的結合，使得這些平台成為各種應用的理想選擇：

• 半導體設備：晶圓檢測、光刻和塗佈工藝

• 精密CNC工具機：高精度銑削、鑽孔和雷射加工

• 光學計量：座標測量機 (CMM)、輪廓儀和 AOI 系統

• 研究與發展：進行奈米尺度實驗的大學與研究機構

在每項應用中，花崗岩氣浮平台提供的穩定性都能直接轉化為更高的測量精度、更高的生產品質和更少的操作誤差。

ZHHIMG®花崗岩氣浮平台為何脫穎而出

ZHHIMG® 憑藉數十年來在花崗岩加工和超精密工程領域的專業經驗，打造出卓越的產品。我們的花崗岩平台經過研磨和組裝，達到奈米級的平整度；每個氣浮平台均採用世界一流的測量儀器進行精細校準，包括雷射干涉儀和電子水平儀。這種對精準度的執著追求，確保了每個 ZHHIMG® 平台都擁有最高的穩定性、可靠性和性能。

總之，花崗岩氣浮平台的穩定性並非誇大其詞，而是精心設計的材料特性、先進的氣浮軸承設計以及精湛製程的結晶。對於追求超高精度、可重複性能和長期可靠性的行業而言，中興重工®花崗岩氣浮平台樹立了全球標竿。