在當今亞微米級缺陷檢測時代——無論是半導體晶圓、電動車電池箔片還是微光學元件——光學檢測系統的性能不僅取決於攝影機和演算法,還取決於其光路的物理穩定性。而這種穩定性的核心在於超精密玻璃元件:透鏡、窗口、棱鏡和參考平面,它們均採用特殊低膨脹材料製成,並經過奈米級公差的精密加工。
在 ZHHIMG,我們為領先的機器視覺 OEM 和自動化光學檢測 (AOI) 整合商提供客製化玻璃元件,以確保熱中性、波前保真度和長期可重複性——即使在高吞吐量的工廠環境中也是如此。
隱藏的挑戰:光路中的熱漂移
標準光學玻璃(例如 BK7)的熱膨脹係數 (CTE) 約為 7–8 ppm/°C。在環境溫度波動 ±3°C 的 24/7 不間斷生產線上,這會導致焦距偏移或錯位超過 5 µm,足以模糊精細特徵或導致誤判為次品。
高階檢測系統需要使用低膨脹玻璃,例如:
- ULE®(超低膨脹玻璃)-室溫附近熱膨脹係數 ≈ ±0.03 ppb/°C
- Zerodur®(肖特)– 0–50°C 範圍內 CTE < 0.1 ppb/°C
- Clearceram-HS / TiO₂摻雜玻璃陶瓷 – 近零熱膨脹係數,高拋光性能
這些材料在熱循環過程中保持光軸完整性,無需主動重新校準即可確保一致的分辨率。
精密玻璃研磨:微米級精度至關重要
僅僅選擇合適的材料是不夠的——幾何形狀必須完美無瑕。 ZHHIMG 的內部能力包括:
- 亞孔徑拋光和磁流變拋光 (MRF) 可實現 λ/20 表面精度
- 遠心透鏡組件視窗對的平行度≤1角秒
- 表面粗糙度小於 0.5 nm RMS,以最大程度地減少明場/暗場成像中的散射。
- 針對 405 nm、532 nm 或短波紅外線波長優化的客製化增透膜
“將我們的參考視窗從 BK7 切換到 Zerodur,使我們的 PCB AOI 系統中各階段之間的測量差異降低了 62%。”
— 一級視覺設備製造商的光學設計主管
超越玻璃:整合式多材料解決方案
ZHHIMG 的獨特之處在於我們能夠將精密玻璃與金屬和陶瓷結構結合在一個組件中:
- 將低膨脹玻璃黏合到殷鋼支架上,實現零應力運動學安裝
- 將玻璃棱鏡整合到具有匹配 CTE 介面的鋁製外殼中
- 共同開發帶有嵌入式基準標記的混合光機模組
這種跨材料專業知識可確保與您現有的光學引擎無縫集成,而不會影響對準或熱性能。
我們支援的應用
- 半導體晶圓和光罩檢測
- 平面顯示器 (FPD) 缺陷檢測
- 鋰離子電池電極掃描
- 非球面透鏡的精密計量
- 高解析度3D結構光投影儀
準備好消除檢測系統中的熱漂移了嗎?
ZHHIMG 提供端到端的支援——從材料選擇和光學公差分析到附帶干涉測試報告的認證交付。
2026年第二季視覺系統開發商計畫:
→ 免費提供低膨脹玻璃樣品(Zerodur 或同等材質)
→ 48小時內完成容差可行性審查
→ 標準 Plano 組件的交貨週期最短可達 12 天
→ 免費提供低膨脹玻璃樣品(Zerodur 或同等材質)
→ 48小時內完成容差可行性審查
→ 標準 Plano 組件的交貨週期最短可達 12 天
穩定你的視線,提升你的洞察力。
ZHHIMG-專為機器之眼設計的精密玻璃。
發佈時間:2026年3月20日
