材質 – 陶瓷

♦氧化鋁(Al2臭氧

中匯智慧製造集團生產的精密陶瓷零件採用高純度陶瓷原料,92~97%氧化鋁、99.5%氧化鋁、>99.9%氧化鋁,採用CIP冷等靜壓成型工藝,高溫燒結並精密加工,尺寸精度可達±0.001mm,光潔度可達Ra0.1,使用精密溫度可達1,600度。可依客戶要求製作不同顏色的陶瓷,如:黑色、白色、米色、深紅色等。本公司生產的精密陶瓷零件耐高溫、耐腐蝕、耐磨、絕緣,可在高溫、真空及腐蝕性氣體環境中長期使用。

廣泛應用於各種半導體生產設備:框架(陶瓷支架)、基板(底座)、臂/橋(機械手)、機械部件和陶瓷空氣軸承。

氧化鋁

產品名稱 高純度99氧化鋁陶瓷方管/管/棒
指數 單元 85% 氧化鋁 95% 氧化鋁 99% 氧化鋁 99.5% 氧化鋁
密度 克/立方厘米 3.3 3.65 3.8 3.9
吸水率 % <0.1 <0.1 0 0
燒結溫度 1620 1650 1800 1800
硬度 莫氏 7 9 9 9
彎曲強度(20℃) 百萬帕 200 300 340 360
抗壓強度 公斤力/平方厘米 10000 25000 30000 30000
長期工作溫度 1350 1400 1600 1650
最高工作溫度 1450 1600 1800 1800
體積電阻率 20℃ Ω.cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

高純度氧化鋁陶瓷的應用:
1.應用於半導體設備:陶瓷真空吸盤、切割盤、清潔盤、陶瓷CHUCK。
2.晶圓傳送零件:晶圓處理卡盤、晶圓切割盤、晶圓清潔盤、晶圓光學檢測吸盤。
3.LED/LCD平板顯示器產業:陶瓷吸嘴、陶瓷研磨盤、LIFT PIN、PIN軌。
4.光通訊、太陽能產業:陶瓷管、陶瓷棒、電路板網印陶瓷刮刀。
5.耐熱和電絕緣部件:陶瓷軸承。
目前,氧化鋁陶瓷可分為高純度氧化鋁陶瓷及一般氧化鋁陶瓷兩大類。高純度氧化鋁陶瓷系列是指Al₂O₃含量在99.9%以上的陶瓷材料,因其燒結溫度高達1650~1990℃,透過波長為1~6μm,常被加工成熔融玻璃取代鉑坩堝;因其透光性好、耐鹼金屬腐蝕,可用作鈉絕緣管;在工業中活體坩堝;因其透光性好、耐鹼金屬腐蝕,可作為鈉絕緣管;在工業中),可用作鈉坩堝,可用作鈉電質集成的電路中,可用作鈉絕緣管;普通氧化鋁陶瓷系列依氧化鋁含量不同,可分為99瓷、95瓷、90瓷、85瓷,有時也將氧化鋁含量為80%或75%的陶瓷歸為普通氧化鋁陶瓷系列。其中99鋁氧化陶瓷材料用於製作高溫坩堝、耐火爐管及特殊耐磨材料,如陶瓷軸承、陶瓷密封件、閥板等。 95鋁陶瓷主要用作耐腐蝕耐磨零件。 85陶瓷常摻入一些性能優良的成分,進而提高電氣性能和機械強度。可採用鉬、鈮、鉭等金屬密封,有的用作電真空元件。

 

品質項目(代表值) 產品名稱 AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
化學成分 低鈉易燒結產品 % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
哈哈 % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
二氧化矽 % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
氧化鈉 % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
MgO* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
中粒徑(MT-3300,雷射分析法) 微米 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α晶體尺寸 微米 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3~1.0 0.3~4 0.3~4
成型密度** 克/立方厘米 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
燒結密度** 克/立方厘米 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
燒結線收縮率** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO 不包含在 Al₂O₃ 純度的計算中。
* 無助焊劑29.4MPa(300kg/cm²),燒結溫度1600℃。
AES-11/11C/11F:添加0.05~0.1%MgO,燒結性優良,適用於純度99%以上的氧化鋁陶瓷。
AES-22S:成型密度高,燒結線收縮率低,適用於滑模鑄造等有尺寸精度要求的大型製品。
AES-23/AES-31-03:成型密度、觸變性較AES-22S高,黏度較低,前者用於陶瓷,後者作為防火材料的減水劑,越來越受到人們的歡迎。

♦碳化矽(SiC)特性

一般特徵 主成分純度(wt%) 97
顏色 黑色的
密度(克/立方厘米) 3.1
吸水率(%) 0
機械特性 抗彎強度(MPa) 400
楊氏模量(GPa) 400
維氏硬度(GPa) 20
熱特性 最高工作溫度(℃) 1600
熱膨脹係數 室溫~500℃ 3.9
(1/℃×10-6) 室溫~800℃ 4.3
熱導率(W/m×K) 130 110
抗熱震性ΔT(℃) 300
電氣特性 體積電阻率 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
介電常數 10GHz -
介電損耗(x 10-4) -
Q 因子 (x 104) -
介質擊穿電壓(KV/mm) -

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♦氮化矽陶瓷

材料 單元 氮化矽
燒結法 - 氣壓燒結
密度 克/立方厘米 3.22
顏色 - 深灰色
吸水率 % 0
楊氏模量 平均績點 290
維氏硬度 平均績點 18 - 20
抗壓強度 百萬帕 2200
彎曲強度 百萬帕 650
熱導率 瓦/立方米 25
抗熱震性 Δ(℃) 450 - 650
最高工作溫度 攝氏度 1200
體積電阻率 Ω·厘米 > 10 ^ 14
介電常數 - 8.2
介電強度 千伏/毫米 16