用於晶圓檢測和計量的超精密花崗岩底座

1. 卓越的材料科學：ZHHIMG®黑色花崗岩

與標準花崗岩，或者更糟的是，與一些不擇手段的製造商使用的低等級大理石不同，ZHHIMG 底座完全由我們專有的 ZHHIMG® 黑色花崗岩製成。

● 超強密度：我們的材料密度高達 ≈ 3100 kg/m³，優於歐洲和美洲的許多傳統黑色花崗岩。

● 熱穩定性：高密度和極低的吸水率確保了優異的尺寸穩定性，從而大大降低了關鍵檢測週期中熱漂移的影響。

● 振動阻尼：天然礦物結構提供出色的內部阻尼，對於隔離敏感光學元件和感測器與外部振動至關重要。

2. 無可比擬的製造與組裝能力

我們對精準的承諾可以用我們的核心信念來概括：“精準行業對精準的要求再高也不為過。”

● 精湛工藝：我們的底座由經驗豐富的技師手工研磨，其中許多技師擁有超過 30 年的經驗，能夠實現奈米級的表面平整度和平行度——精度由雷尼紹激光干涉儀和 WYLER 電子水平儀驗證。

● 受控環境：機械加工和最終組裝均在我們10,000平方公尺的溫濕度控制潔淨室內進行（模擬嚴格的半導體製造環境）。此無塵室擁有1000毫米厚的混凝土基礎和2000毫米深的防震溝槽，確保了計量環境的絕對穩定。

3. 整合精密設計（如圖）

底座通常以複雜組件的形式提供，通常包括：

● L 型/龍門架結構：設計用於支撐成像頭的垂直運動（Z 軸），確保正交性和幾何精度。

●精密槽和嵌件：預加工表面有螺紋鋼嵌件和精密定位銷孔，用於安裝氣浮軸承、線性馬達（XY 工作台）、視覺系統和導軌（THK、HIWIN、Rexroth）。

● 客製化：我們專注於大規模加工，能夠提供長度達 20 公尺、重量達 100 噸的整體式花崗岩底座，並可根據您的設備範圍進行精確客製化。